평면홀 저항 센서의 2차 조화파 신호를 이용한 CoFeB 박막의 투자율 측정 (Permeability Measurement of CoFeB Thin Films by Using 2nd Harmonic Signals of PHR Sensor)

서지정보

· 발행기관 : 한국자기학회
· 수록지 정보 : 한국자기학회지 / 32권 / 6호 / 259 ~ 263페이지
· 저자명 : 윤석수, 김동영

초록

평면홀 저항(PHR) 센서의 2차 조화파 신호를 이용하여 10Hz~50 kHz의 주파수 대역에서 두께가 10 nm, 50 nm, 100 nm인CoFeB 박막의 저주파수 투자율을 측정하였다. CoFeB 박막의 저주파수 투자율은 단일(one-turn) 코일로 측정한 마이크로파 투자율과 LLG 이론으로 계산한 실수부 투자율과 함께 비교 분석하였다. PHR 센서로 측정한 저주파수 투자율은 CoFeB 박막의 초기투자율과 일치하였다. 따라서 PHR 센서의 2차 조화파 신호는 초소형, 고분해능 및 저전력형 저주파수 투자율 측정기에 적용되기를 기대한다.

영어초록

We measured the permeability of CoFeB thin films by using the second harmonic signals of planner Hall resistance (PHR) sensor in the low frequency range of 10 Hz~50 kHz. The low frequency permeability of CoFeB thin film was compared with the microwave permeability measured by using one-turn coil as well as the real permeability calculated by LLG equation. We confirmed that the low frequency permeability of CoFeB thin film was correspond to the initial permeability of CoFeB thin film. Thus the second harmonic signals of the PHR sensor can be applied to the low frequency permeameter with compact, high resolution and low power consumption.

참고자료

· 없음