펨토초 레이저를 이용한 마이크로 유체 필터 제작 (Femtosecond-Laser Fabrication of Microfluidic Filters)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 69권 / 6호 / 606 ~ 611페이지
· 저자명 : 이대영, 임기수, 손익부

초록

펨토초 레이저를 이용하여 fused silica내부에 직경이 균일하지 않은 마이크로 채널을 T자 형태로 제작함으로써 10 m 와 2 m 크기의 입자들을 분리하는 필터와 1 m 와 200 nm 크기의 입자들을 분리하는필터를 개발하였다. 채널의 직경은 레이저의 강도와 스캔속도와 횟수를 변화시키고 화학적 식각을 통해조절하였다. 크기가 다른 형광 입자들을 채널 내부로 주입하고 공초점 형광현미경을 통해 입자분포를관찰하고 광도파로를 이용하여 투과한 입자들의 형광스펙트럼의 측정을 통해 필터 기능을 조사하였다.
또한 제작된 채널의 내벽을 전자현미경으로 관찰하였고, 직경이 균일하지 않은 U자형 마이크로 채널을통과하는 물의 속도 변화를 측정하였다.

영어초록

We used femtosecond laser pulses to develope two micro-filters with a of T-shape for separating particles with sizes of 10 m and 2 m, and particles with sizes of 1 m and 200 nm sizes. The diameters of the microchannels were controlled by using the laser intensity, scan speed, and scan number. A distributed profile of the particles injected into a channel was observed by using a confocal fluorescence microscope, and the filter function was studied by measuring the fluorescence spectra of the particles transmitted by a fabricated waveguide. We also observed the profile of the inner surface of the channel by using a scanning electron microscope and measured the change in the flow of the water along the channel.

참고자료

· 없음