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평면 디스플레이에 사용되는 고경도 플라스틱 제조용 하드코팅제의 특성 분석 및 계획2025.04.271. 하드코팅 하드코팅은 플라스틱 표면에 경도가 높은 피막을 형성시켜 내구성과 내마모성을 높이는 기술이다. 최근 디스플레이 산업에서 플라스틱 소재의 활용이 증가하면서 하드코팅의 중요성이 커지고 있다. 하드코팅 기술은 주로 Sol-Gel 공정을 통해 유-무기 하이브리드 코팅제를 제조하여 적용한다. 이 코팅제는 무기물의 내마모성과 유기물의 유연성을 모두 갖추고 있어 우수한 특성을 발현할 수 있다. 2. Sol-Gel 공정 Sol-Gel 공정은 고순도의 금속 알콕사이드를 전구체로 사용하여 용액 중에서의 가수 분해 반응과 중축합 반응을 거...2025.04.27
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반도체 하드마스크 SOH 레포트2025.05.021. SOH (Spin-on Hardmasks) SOH는 패터닝 공정에서 반도체 미세 패턴 구현을 위한 보조재료입니다. gap을 채우고 평탄화를 강화하여 내에칭성을 강화해야하는 특성을 요구합니다. SOH는 반도체 회로 패턴 형성 시 기존의 CVD 방식이 아닌 spin coating 방식으로 막을 형성하는 미세 패턴 형성 재료로, 미세 선폭의 패턴 정확도를 구현합니다. 2. PR MASK와 HARD MASK 비교 미세패턴을 구현하려면 PR MASK의 폭이 점점 줄어들어야 합니다. PR MASK의 가로에 대한 세로의 비율이 특정 값보다...2025.05.02