photolithography

*해*

개인인증 판매자스토어

최초 등록일: 2011.06.28
최종 저작일: 2011.06; 3페이지/ MS 워드; 가격 1,000원

다운로드

장바구니

상세정보
자료후기 (0)
자료문의 (0)
판매자정보

소개글

포토리소그래피의 전체적인 공정과정과 원리로 구성되어있습니다

본문내용

Photolithography

Ⅰ. Introduction
극히 미세하고 복잡한 전자회로를 패턴의 마스크를 이용하여 반도체 기판에 패턴을 그려 집적회로를 만드는 기술. 사진 기술을 응용한 것이어서 포토리소그래피라고도 한다. 감광성 수지를 도포한 기판에 포토마스크(원판)를 통해 자외선을 조사하면 포토마스크에 새겨진 IC의 패턴이 포토레지스트에 전사된다. 1m보다 미세한 패턴을 형성하려면 자외선으로는 한계가 있어 X선이나 전자빔의 응용도 연구되고 있다. 모든 공정 step이 각종 particle에 대해 매우 취약하고, 이로 인한 pattern 불량이 전체 panel의 불량을 유발하므로, 청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다 중요한 공정이며, 향후 TFT 제작공정의 고정밀, 대면적화에 따라서 그 중요성이 더욱 커지는 공정이다.

참고 자료

http://pltus.net/entry/Photolithography
http://me.cau.ac.kr/~microsys/kor
네이버 백과사전

이 자료와 함께 구매한 자료

[재료공정] 소프트 리소그라피 3페이지
cvd 와 pvd의 특징과 비교 9페이지

주의사항

환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류	중복자료	저작권 없음	설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우	다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함)	인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우	자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

포토리소그래피 실험 리포트 3페이지

우리는 실험을 통해서 Photolithography 공정은 상당히 미세하고 ... -Photolithography: 4.실험 방법 [1] ITO의 저항을 측정해준다 ... 주제 Positive & Negative Photoresist를 이용한 Photolithography
포토리소그래피 실험 결과 레포트 2페이지

포토리소그래피 김OO 1. 실험 제목 : 포토리소그래피 2. ... 실험 포토리소그래피란? ... 실험 목적 : 포토리소그래피를 통해 웨이퍼에 패턴을 나타내본다. 3.
[반도체공정]Immersion Lithography 포토리소그래피공정 개념, 원리, 효과 정리 3페이지

렌즈와 웨이퍼 표면 사이의 공간을 굴절률이 큰 액체의 매질로 대체하여 Photolithography의
Photolithography and Moore’s law 3페이지

따라서 '포토리소그래피(Photolithography)'는 원하는 회로설계 ... Photolithography and Moore’s law 무어의 법칙은 ... 주요 반도체 업계는 10nano급 공정으로 들어가기 위해 새로운 반도체 리소그래피
Photolithography Mask Patterning 반도체 공정 실험 보고서_ A +레포트 8페이지

Results and discussion1) Photolithography ... 맞추어, 디자인 Mask Glass와 Silicon Wafer를 가지고 Photolithography ... (시간, 온도 등이 ) 왜 이렇게 했는지도 자세히 적으시오.Photolithography
반도체 공정기술의 기본요소가 되는 박막증착, 포토리소그래피 공정에 대하여 실험 14페이지

반도체 공정기술의 기본요소가 되는 박막증착 포토리소그래피 , 공정에 대하여
Photolithography 예비보고서 3페이지

리소그래피)라고도 한다. ... 인화지에 인화하는데, 그것과 유사하다고 하여 Photo Lithography(포토 ... 공정과정Lithography(리소그래피)란, 웨이퍼라고 하는 반도체 기판에
재료공학실험1 - 포토리소그래피 4페이지

재료공학실험1 - Photolithography Q1 (1) Lift off법은
Photolithography 결과보고서 3페이지

참고문헌 (1) 박동진, 포토리소그래피 공정과 입자분사가공을 이요한 3차원 ... 실험제목 : Photolithography 2. ... 실험목적 Photolithography의 원리와 공정 과정에 대해서 이해한다
photolithography 공정 과정 결과보고서 11페이지

Photolithography Prupose of experiment 반도체 ... Experiment 예비 보고서에서 설명한 포토공정을 직접 수순에 맞게 경험해 ... 8대 공정 하나인 Photo lithography를 즉, 포토 공정을 직접경험하여
[반도체공정실험]Cleaning & Oxidation, Photolithography, Dry Etching, Metal Deposition 10페이지

5) 수 분간 시료를 대기 중에 놔둬 relaxation 시킨다. 6) 포토마스크와 ... exposion이 끝난 후 시료를 TMAH 용액에 2분간 담궈서 현상한다. 8) Photolithography
재료공학실험1 - Photolithography에 대한 이해 4페이지

Photolithography 보고서 1. ... 포토 공정을 진행한 후, 전자현미경으로 단면을 관찰하자 다음과 같은 구조가
Photolithography 예비보고서 6페이지

우리는 이 중에서 포토공정(photolithography)을 해볼 것이며 ... Photolithography(포토공정) 빛을 이용하여 반도체 표면에 패턴을 ... 만들기 위한 핵심적인 8대공정이 있는데 바로 웨이퍼 제조, 산화공정, 포토공정
반도체(포토리소그래피,나노임프린트)실험 결과 보고서(실험과정, 분석) 6페이지

실험 결과 보고서 실험 제목 : CAD마스크 포토리소 그래피 실험 날짜 : 2015. 11. 27 실험 장소 : 부산대학교 실 험 자 : 실험조원 : Ⅰ 실험 방법 (1) Mask Cleaning : 아세톤, 에탄올, DI Water 순으로 마스크를 세척 해준다. (2..
[반도체공정실험]Cleaning & Oxidation, Photolithography, Dry etching, Metal Deposition, Annealing(Silcidation) 19페이지

Photolithography 1. ... Photolithography 박막 또는 기판 부분에 패턴을 새기기 위한 ... Photolithography란 말 그대로 빛을 이용하는 공정으로 si wafer
리소그래피, 반도체공정 보고서 3페이지

실험 이론 포토리소그래피란? ... 포토리소그래피 공정은 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이 빛을 ... 포토리소그래피 공정은 모든 공정 단계(step)가 각종 particle에