포토리소그래피 실험 결과 레포트

목차

1. 실험 제목
2. 실험 목적
3. 실험

본문내용

포토리소그래피란?
반도체 웨이퍼 위에 감광 성질이 있는 포토레지스트(Photoresist)를 얇게 바른 후, 원하는 마스크 패턴을 올려놓고 빛을 가해 사진을 찍는 것과 같은 방법으로 회로를 형성하는 것.

a) 실험방법
① 웨이퍼에 적당량의 HMDS를 올리고 스핀코팅한다.
② PR을 웨이퍼에 올리고 스핀코팅 후 가열시킨다.
③ 웨이퍼를 마스크 패턴을 찍는 기기에 올리고 진공을 잡은 후 패턴을 찍는다.
④ Develop 현상을 한다.
⑤ 현미경으로 패턴을 관찰한다.

b) 용어 정리 및 원리
HMDS란 hexamethyldisilazane을 나타내고, 웨이퍼의 표면을 소수성으로 바꾸어 주기 위해 사용합니다. 왜냐하면, Photo 공정에는 photoresist가 사용되는데, photoresist는 유기용매가 대부분을 차지하는 액이다.

참고 자료

없음