[박막공학]여러가지 박막 제조 공정

소개글

박막제조 공정에 대하여 정리 발표 수업용 파워 포인트로 만든 것입니다.
주로 분자선 에피탁시 CVD법 스퍼터링에 대하여 다루었으며
발표용이기 때문에 비교적 간단한 편입니다.

목차

개 요
여러가지 박막 제조방법
분자선 에피탁시(MBE)
Supttering
화학기상 증착법(CVD)
여러가지 증착법의 차이

본문내용

박막 공정의 정의
* 박막 증착 기술을 이용 원하는 형상의 회로를
* 형성하는 일련의 과정
박막 증착의 정의
* 박막을 만들고자 하는 물질을 수 나노에서
* 수백 나노 두께로 기판위에 올리는 과정
증착의 요구 조건
* 전기적 기계적 특징 우수
* 원하는 구조를 얻기 쉽고 깨끗해야 함
* 기판과 기판사이의 두께 균일
* 증착막에 void가 없어야 함
* 증착막 자체 두께의 균일성
* Step coverage의 우수성
분자선 에피탁시
Sputtering
화학 기상 증착법

참고 자료

박막기술과 응용 - 겸지사