크라이오 펌프

목차

1. 온도를 낮추는 방법
2. 펌핑 방법
3. regeneration 방법

본문내용

온도를 낮추는 방법은
압축기에서 압축된 헬륨을 cryo panel과 연결된 실린더 내부로 이동시킵니다.
실린더 내부에서 압축되어있던 헬륨이 팽창하면서 온도가 급격히 내려갑니다.
실린더에 붙어있는 cryo panel의 온도가 내려갑니다.
온도가 낮아진 cryo panel에 가스분자들이 충돌하게 되면, 온도가 낮아지는데
운동에너지가 작은분자들(질량이큰 가스분자)과 수분은 cryo panel에 얼어붙게되고
운동에너지가 큰 수소와 불활성 가스들은 cryo panel과 충돌하여 완전한 정지상태가 되지는 않고 에너지를 잃은 상태가 됩니다.
이 가스 들은 다공질 물질인 charcoal에 가두어 밖으로 빠져나가지 못하게 합니다.

크라이오 펌프는 홀로 사용되지않고 다른 펌프와 사용되는데요
chamber와 pump사이를 차단하고 있는 고진공 밸브때문인데요 이 고진공 밸브를 열수있는 진공chamber의 압력을 cross over라고 합니다.

참고 자료

없음