CRYOGENIC PUMP(크라이오 펌프)

등록일 2001.09.13 한글파일한글 (hwp) | 14페이지 | 가격 2,000원
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목차

1.펌프의 구성
가.PUMP MODULE
나.COMPRESOR MODULE
2.펌프의 동작원리
가.크라이오 응축
나.크라이오 섭션
다.가동
라.크로스오버
마.정상 상태 동작
바.재생
사.다공성 트랩 사용과 재생
아.조업 정지
3.총괄(진공시스템 이용)
가.진공펌프의 종류와 압력 범위
나.크라이오 펌프의 총괄

본문내용

『크라이오 펌프는 기체를 아주 차갑게 하여 펌프 내에서 얼거나 붙잡혀 있도록 배기하는 아주 독특한 펌프이다. 이 펌프는 오일을 안쓰고 진공상태에서 움직이는 파트(part)가 없기때문에 아주 깨끗하며, 매우 높은 쓰루푸트를 가진다. 탄화수소를 완전히 제거하여야 하는 고진공 산업에 사용된다.
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