투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

목차

1. 투명전극
1) 투명전극의 정의 및 조건
2) 투명전극의 종류
3) 투명전극의 원리

2. 진공펌프
1) 진공펌프의 정의
2) 진공펌프의 종류
3) 진공펌프의 원리

3. 진공 게이지
1) 진공 게이지의 정의
2) 진공 게이지의 종류 및 원리

4. 스퍼터링
1) 스퍼터링의 정의
2) 스퍼터링의 종류
3) 스퍼터링의 원리

본문내용

1.1 투명전극의 정의
투명전극은 통상 80% 이상의 고투명도와 면저항 500 Ω/sqm 이하의 전도도를 가지는 전자 부품으로 LCD 전면 전극, OLED 전극 등 디스플레이, 터치스크린, 태양전지, 광전자 소자 등 전자분야에 광범위하게 사용되는 기술임

<중 략>

1.3 투명전극의 원리
ITO의 원리: 투명전극 소재로 사용되는 ITO는 앞서 언급한 바와 같이 In 2 O 3 격자에 Sn이 도핑되어 전기 운반자(carrier)를 형성, 투광성과 전기 도전성을 부여하게 된다. 일반적으로 ITO 내에서 In과 Sn의 조성 비율은 최적의 성능을 나타내는 90 : 10으로 구성되어 있다. ITO 투명전극의 전기 도전 메커니즘은 다음과 같다. 〖σ=e∙μ∙N[Ω∙cm]〗^(-1)여기서 σ, e, μ, N은 각각 전기 전도도, 전하, 이동도, 전하농도 등을 의미한다. 이와 같이 ITO 투명전극의 전도 메커니즘은 전하의 재결합 및 이동에 기반한다. 따라서 금속 전극의 경우 온도가 증가하면 전기 전도도는 감소하지만, 투명전극의 전기 전도도는 적절한 운반자농도하에서는 온도 상승에 비례하여 증가한다. 〖SnO〗_2의원리:〖In〗_2 O_3에〖SnO〗_2를 첨가한 치환형 고용체 Sn은 전기전도도가 증가하여 투명전극으로의 전기적 특성이 좋아지는 재료이다.

ZnO의 원리: ZnO 는 ITO보다 자원이 풍부한 산화아연으로 재료특성상 밴드갭 에너지가 3.3eV이므로 대부분의 가시광선을 투과하는 원리로 투명전극에 활용된다.

참고 자료

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https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1159708&cid=40942&categoryId=32227플라즈마-두산백과
https://www.edmundoptics.co.kr/resources/application-notes/optics/an-introduction-to-optical-coatings/ 광학 코팅 소개-에드몬드 옵틱스