반도체공학실험 보고서(Circular Transmission line model)

소개글

신소재공학실험 반도체 파트 실험보고서입니다.
주제 : Circular Transmission line model
일반적인 실험 보고서 형식은 아니고, 몇몇 항목에 대한 답변형식의 보고서입니다.
(항목은 목차를 참고해주세요.)
워드 14장

목차

1. Circular Transmission line model (CTLM)
2. Lithography
3. Vacuum system : Pumps, Chamber, Gasket, MFC, etc
4. Ohmic contact in p-type GaN :

본문내용

1. Circular Transmission line model (CTLM) :
(1) Describe the experiment procedure
우선 sample을 제작하는 단계와, sample의 특성을 측정하는 것으로 나눠서 생각할 수 있다. Sample을 제작하는 것은 cleaning, Lithography, Metal deposition, Lift-off의 과정으로 진행된다.

1) Cleaning
Cleaning은 기판의 표면에 있는 이물질(organics, metals 등)을 제거하여 공정이 정상적으로 진행되게 하는 과정이다. Cleaning을 한 후, OM으로 표면을 확인한다.

① Piranha solution(H2SO4에 H2O2를 1:1 비율로 섞어서 제작)에 sample을 일정 시간(10분) 동안 넣어 세척하는 과정이다. Piranha solution은 매우 강한 산화제여서, sample 표면에서의 유기물을 제거하고, OH기를 붙여 친수성이 되게 만든다. Pirahna solution을 만들 때에는 섞는 용액의 순서에 유의한다.
② HCl과 NHO3를 3:1로 섞고, hot plate로 가열하면 왕수(Aqua regia)를 만들 수 있다. 왕수는 매우 강한 산성을 띄어서 noble metal을 포함한 대부분의 metal contaminant를 제거할 수 있다.
③ 마지막으로 수용성 불순물과 이전 과정에서 남은 solution들을 제거하기 위해서 DI rinsing을 한다. DI를 채운 비커에 sample을 고정시킨 holder를 넣고, 비커에 DI를 지속적으로 흘려주는 과정이다. DI rinsing이 끝난 후, N2 gun을 사용하여 sample을 dry한다.

2) Lithography (image reversal photolithography, PR 5214 double coating)

참고 자료

2017_2 반도체 공학 실험 introduction.ppt
https://www.physicsforums.com/threads/why-positive-pr-is-the-better-than-negative-pr-in-vlsi.769721/
Donald A. Neamen. (2003). Semiconductor Physics and Devices basic principles (3rd edition), Mc GrawHill.
Ben G. Streetman. (2006). Solid State Electronic Devices (6th edition), PEARSON Education.
R. C. Jaeger, Introduction To Microelectronic Fabrication, 2 ed. Auburn, Upper Saddle River - Prentice Hall, 2002
M. J. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, 2 ed.: CRC Press, 2002
https://en.wikipedia.org/wiki/Metal-induced_gap_states
http://electrons.wikidot.com/dharma
http://marriott.tistory.com/45
http://marriott.tistory.com/47
http://blog.mtigasket.com/2017/07/18/do-i-need-an-o-ring-or-a-gasket/
http://blog.mtigasket.com/2016/03/01/what-is-a-metal-reinforced-gasket-and-why-do-i-need-one/