크라이오 펌프

목차

1. Cryo Pump*크라이오 펌프란?
2. 크라이오 펌프의 pumping mechanism
3. 온도를 어떻게 낮출 것인가?
4. 크라이오 펌프를 이용한 pumping 순서 및 regeneration 과정

본문내용

크라이오 펌프란?
사전적으로는 진공 용기 속에 극저온 냉각면을 만들고, 그 위에 기체를 응축시켜 용기내의 압력을 낮추는 펌프 입니다.
냉각 매체로는 주로 액화질소나 액화헬륨을 사용하는데, 초고진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험 등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있답니다.

크라이오펌프의 pumping mechanism
크라이오 펌프는 기체분자의 온도를 낮추어서 0 K에 가깝도록 만들어 움직이지 못하게 잡아 둠으로서 압력을 낮추는 것이다.
절대온도 T를 0 K로 만들기만 한다면 기체분자들은 움직이지 못하는 상태가 되고,압력이 0이된다.

<중 략>

Regen 주기 계산식
Pressure relief valve
A 16.6 x C / B
A=계속적인 gas 주입을 한 후 사용시간(hour)
B=Gas 주입량 (sccm)
C=Pump의 Pumping Capacity(L)
이 valve는 Pump내부의 압력이 7~9 psig 정도 압력이 발생하게 되면 자동으로 열리며, 이곳을 통하여 N2 gas 주입이 끝난 후에 valve가 완전히 닫히지 않게 되어 Leak의 원인이 자주 발생함 ∴ Regeneration시에 1번씩 Cleaning해 주는 것이 바람직함

참고 자료

없음