SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry)

*효*

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SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry)에 대해 발표한 PPT 자료 입니다~

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* SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry)
2차 이온 질량분석법 으로써 시료의 표면분석을 통해 표면정보 (성분 및 조성)을 얻을 수 있는 분석법

* SIMS의 특징
장점.
극소량의 시료로도 분석 가능.
마이크론 단위의 좁은 영역에 대한 미세분석 가능.
분석하고자 하는 원소 전처리 과정 없이 직접 분석 가능.

단점.
정확한 정량화 및 정성 분석의 한계.
복잡한 질량 스펙트럼에 따른 질량 간섭.

SIMS의 적용분야.
표면 원소의 규명.
극미량 원소의 깊이에 따른 원소 농도 분포 분석.
반도체 재료의 불순물 농도 분포 분석.
금속 재료의 불순물 비교 조사.
고분자 화합물의 조성 분석.
표면 원소의 물리, 화학적 특성 연구.

참고 자료

과학기술정보 포털서비스.
자동차부품혁신센터.
http://www.lg-elite.com/mcl/sims.html
http://www.simsworkshop.org/aboutsims.htm
http://www.gfz-potsdam.de/pb4/pg2/equipment/sims/
http://www.cameca.com/html/sims technique.html
F:simsSecondary Iom Mass Spectrometry.htm

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