이차이온 질량분석기 (SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)

*광*

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최초 등록일: 2009.04.23
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이차이온 질량분석기 (SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)에 대한
측정 방법 및 종류, 원리에 대한 전반적인 이론을 제시한다.

본문내용

이차이온 질량 분석기술(SIMS)은 질량 분석 기술 자체가 가진 민감성으로 인해서 일반적으로 사용되는 표면 분석 기술 중 가장 민감한 분석 방법이다.

이차이온 질량 분석기술에는 크게 아래와 같이 세가지로 분류 할 수 있다.

정적 SIMS : 단층 이하의 원소 분석에 이용된다.
동적 SIMS : 표면 이하를 깊이의 함수로 복합적인 정보를 얻는데 이용된다.
이미징 SIMS : 특별히 분해되어진 원소 분석을 위해 사용한다.

이러한 기술들은 모두 기본적인 물리적 절차에 근거한다. 따라서 우리는 정적SIMS 분야를 간략하게 도입함으로써 SIMS의 전반적인 원리를 알아볼 것이다.

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