SEM

*민*

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최초 등록일: 2007.12.09
최종 저작일: 2007.12; 11페이지/ MS 파워포인트; 가격 1,000원

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자연과학 - SEM 에 관한 리포트입니다.

본문내용

1. Vacuum system - Remove air molecules
▷ Mechanical pumps와 oil diffusion pumps로 구성
▷ 고에너지 입사 전자나 시편에서 방출되는 2차 전자들과의 충돌을 방지하도록 column내의 공기를 빼내는 것
2. Electrical Optical System - Focus and control the e beam
▷ 전자기렌즈, deflection coils, 그리고 필라멘트를 떠난 전자가 시편에닿을 때까지 전자빔의 경로를 조절하는 stigmators로 구성

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