Calcite, Vaterite의 FE-SEM 기기를 이용한 분석
- 최초 등록일
- 2021.11.25
- 최종 저작일
- 2021.04
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소개글
"Calcite, Vaterite의 FE-SEM 기기를 이용한 분석"에 대한 내용입니다.
목차
1. 서론(Abstract)
2. 배경 이론(Background Theory)
1) FE-SEM이란?
2) FE-SEM의 성능
3) FE-SEM 원리
4) SE(2차 전자)
5) BSE(후방산란 전자)
6) FE-SEM의 특징
7) FE-SEM의 적용 분야
8) FE-SEM 전처리 과정
9) 전자현미경으로 얻을 수 있는 정보
3. 시약 및 기구(Reagents & Appartus)
4. 실험 과정(Procedure)
5. 실험 결과(Result)
6. 토의(Discussion)
7. 참고 문헌(Reference)
본문내용
Abstract
본 연구는 탄산 칼슘(CaCO3)의 다형체(polymorph) Calcite와 Vaterite를합성하고, FE-SEM을 통해 관찰하여 결정 구조를 해석하는 것으로 구성되어 있다.실험을 통해 FE-SEM의 원리를 이해하고 고체 시료의 분말-구조 규명 과정을 이해하는 것이 목적이다.
Background Theory
1. FE-SEM이란?
Field Emission Scanning Electron Microscope를 의미하며,전계방출(Field Emission) 주사현미경이라고 부른다.전계방출(Field Emission)이란 높은 진공 중에서 금속 표면에 고압의 전위차를 걸어주어 금속 표면으로부터 전자를 뽑아내는 방법을 말한다.
2. FE-SEM의 성능
1) 분해능: 1.0nm(15kV) 1.5nm(1kV)
2) 배율: X 25 ~ X 1,000,000
3) 가속전압: 0.1 ~ 30kV
4) Maximum Probe current : 200nA
5) 전자총: Schottky Field-Emission Gun
6) EDS 분해능: 127eV
3. FE-SEM 원리
1) 전자방출
:전자총에 전압을 인가(apply voltage)한 후 전자를 방출한다.
2) 전자 가속
:양극에 인가된 전기장에 의해 전자가 가속된다.
3) 시편 표면 주사
:가속전자와 자기렌즈에 의해 샘플표면에 집속된다.
4) 신호 방출
:시편에 조사된 전자와 시편의 구성 원자 간의 상확용을 통해 신호가 방출된다.
5) 검출 데이터 출력
:검출기를 통해 신호를 포집한다.
4. SE(2차 전자)
빔 전자와 비 탄성 충돌로 얻어진 에너지에 의해 시료 표면에서 발생하는 전자이다. 주로 표면형상 관찰로 전체적인 이미지 구성에 가장 많이 사용한다.
5. BSE(후방산란 전자)
전자들 중 일부는 샘플 밖으로 튀어나올 정도로 산란 각이 큰 경우가 있으며 이것들이 후방산란 전자들이다.
참고 자료
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