SEM(Scanning Electron Microscope) 주사식 전자 현미경

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SEM 주사식 전자현미경의 특징, 장단점, 시료 전처리 조건, 광학 현미경과의 특징비교, 원리, 현미경 관찰시 주의사항, SEM의 구성, 분해능이란?, 4가지 렌즈의 수차(오차)

1. SEM의 장점
2. SEM의 시료 전처리 조건
3. SEM의 단점
4. 전자 현미경 vs 광학 현미경 특징비교
5. SEM의 원리 (이미지를 형성하는 원리)
6. SEM의 배율
7. 현미경을 사용해 상 관찰시 주의사항
8. SEM의 구성
9. 렌즈의 수차(오차)
10. 분해능이란?
11. 전자와 시편의 상호작용

본문내용

■ SEM(Scanning Electron Microscope) 주사식 전자 현미경 : 고체 상태에서 작은 크기의 미세조직과 형상을 관찰 할 때 쓰이는 전자 현미경
현재 공실관에 있는 것은 1995년에 들여온 교육용 아날로그 타입으로 이것은 관찰한 상이 필름 나온 것을 스캔해서 파일화 시켜야했다. 하지만 현재는 디지털 타입으로 SEM이 나오기 때문에 관찰한 상이 바로 파일화되어서 나온다. 아날로그 타입을 다룰 수 있다면 디지털 타입도 사용이 가능하다.

SEM의 장점
① 초(점)심도가 깊다 : 매우 가는 전자빔을 이용하게 때문에 초(점)심도가 깊어 관찰하고자 하는 시료의 표면을 입체적으로 관찰 가능하다. (초(점)심도란 초점을 맞춘 부분에서 얼마만큼 깊게 관찰 가능한가를 말함)
② TEM에 비해 상대적으로 시료의 전처리가 쉽다. TEM의 경우 시료를 매우 얇게 만들어야 하는데 이는 상당히 까다롭다.

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