A+ 레포트 / 신소재공학실험 / SEM&EDS 사전 및 결과 보고서 / SEM / EDS 분석

소개글

A+ 받은 재료공정실험(신소재공학실험) SEM 및 EDS 분석 실험 사전 및 결과 보고서 입니다.

결과에 쓰인 사진들은 참고만 하시고 실험을 통해 얻은 이미지와 표로 작성 부탁드립니다.

목차

1. 실험 목적

2. 실험 이론
2.1. SEM
2.2. SEM 원리
2.3. EDS
2.4. EDS 원리

3. 실험 방법

4. 실험 결과 및 분석

5. 고찰 및 결론

6. Reference

본문내용

1. 실험 목적
SEM (Scanning Electron Microscope)은 고배율로 시료의 형상, 조성, crystallography를 관찰할 수 있는 대표적 분석 장비이다. 또한, EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)은 SEM에 부착되어 있는 옵션 기능으로 성분 분석이 가능하다. 본 실험을 통해 SEM 및 EDS를 관찰하고 결과를 분석할 수 있는 능력을 향상시킨다.

2. 실험 이론
2.1. SEM
SEM (Scanning Electron Microscope)은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이며 시편 표면을 전자빔을 통해 scan하여 image화 시키는 전자현미경의 일종이다. 고속의 전자를 발사하면 이 전자가 시료표면에 충돌하면서 상호작용하여 시료에서 전자와 같은 물질이 튀어나오는데, 이를 분석하는 방법이다. 활용도도 매우 다양해서 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사 등 전 산업 영역에 걸쳐 있다. 특히 X-선을 이용하여 작은 부피의 화학 조성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있어 SEM의 활용분야를 획기적으로 확장해주고 있다.

2.2. SEM 원리
¬¬SEM은 기본적으로 electron probe (1차 전자빔)을 생산하기 위한 electron optical system이 갖춰져야 한다. 전자총(electron gun)이라고도 하며 광원으로 쓰이는 전자를 만들고 가속시키며 전자를 공급하는 역할을 한다. 주로 열에 의해 가열된 필라멘트에서 전자를 방출하는 termionic emission gun을 상용한다.
한 시료에서 반사되거나 반응하여 방출되는 secondary electron (2차 전자)를 검출하고 모으기 위한 detector도 필수적이다. Detector의 구성요소인 scintillator는 detector의 tip부분에 코팅되어 있고 높은 전압이 걸리는 부분이다.

참고 자료

정석균, and 전정범. "[총설] 주사전자현미경의 기본원리와 응용 (Part Ⅱ)." Korean Industrial Chemistry News 13.1 (2010): 51-60.
SEM, Tistory ‘생각하는 공대생’, https://allgo77.tistory.com/21,
EDS, 네이버 블로그 ‘지식을 모으는 다람쥐’, https://m.blog.naver.com/jujakfire/221070868209,
EDS 원리, 네이버 블로그 ‘한국기술교육대학교 공용장비센터’, https://m.blog.naver.com/00811022/222080153958,
EDS 분석, 네이버 블로그 ‘Waste to Energy’, https://m.blog.naver.com/nanomate/110082618135,