리소그래피

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최초 등록일: 2007.07.19
최종 저작일: 2006.12; 3페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

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리소그래피 과정에 대한 레포트

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1. 리소그래피란(lithography)? 리소그래피는 리소(돌) + 그래피(인쇄술)의 합성어로 직역하면 바로 석판인쇄술이다. 여기서 기원한 것이 리소그래피이다. 인쇄술이라고 하면 자기가 원하는 대로 디자인하여 그리는 것을 말한다. 여기서 미술에 응용되기도 하고 오늘날에는 "포토 리소그래피(photolithography)"라하여 빛을 이용하여 그리는 것으로 기판인 웨이퍼 위에 원하는 패턴을 구현하는 기술이다. 반도체와 LCD공정에 이용되는 것이다. 반도체에서는 메모리의 집적화를 위해서 더 얇게 그릴 필요가 있고, LCD에서는 더 얇게 그리기 보다는 가격을 낮추기 위해서 어떻게 하면 값싼 공정으로 이어질 수 있을까 고민하는 것 이다.
빛으로 모양을 그릴 때 빛을 받은 부분이 굳어지고 다른 부분이 현상(녹음)되면 negative(-) 타입이고, 빛을 받은 부분이 녹아내리면 positive(+) 타입이라고 한다.

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