진공펌프레포트

목차

1. Rotary Vane Pump
2. 흡착펌프 (Sorption Pump)
3. 확산 펌프(Diffusion Pump)

출처

본문내용

펌프란 전동기나 내연기관 등의 원동기로부터 기계적 에너지를 받아서, 액체에 운동 및 압력에너지를 주어 액체의 위치를 바꾸어 주는 기계입니다. 펌프의 작동 원리에 따른 분류로는 크게 positive displacement 펌프와 entrapment 펌프로 나눌 수 있습니다.
positive displacement pump : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 rotary vane pump, turbo-molecular pump 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속합니다.
entrapment pump : 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는 경우입니다. capture pump 라고도 부르며 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있습니다. sorption pump 나 cryo pump, ion pump가 이에 속합니다.

1. Rotary Vane Pump
일반적으로 실험실에서 저진공 용도로 가장 많이 사용되는 로터리 펌프의 구조와 작동 순서를 밑의 그림을 통해 설명하면,......<중 략>

참고 자료

https://blog.naver.com/gsem0501/221936135261
https://www.inforad.co.kr/post/oil-of-rotary-vane-pump
https://m.post.naver.com/viewer/postView.nhn?volumeNo=15973083&memberNo=10728965
https://www.inforad.co.kr/single-post/oil-sealed-rotary-vane-pump
https://mr-penguin.tistory.com/2