고진공 저진공 펌프에 대해 조사한 레포트 입니다.

목차

I. 서론
1. 진공이란?
2. 저진공, 고진공이란?
3. 현대적 의미의 진공
4. 진공 펌프

II. 본론
1. 진공 영역에 따른 진공 펌프의 분류 및 분석
2. 저진공 펌프
3. 고진공 펌프

III. 결론

본문내용

Low & High vacuum pump?
<저진공, 고진공 펌프 기본개념>
1. 진공이란?
진공이라고 말하는 것은 개념적으로 공기가 없는 공간이라고 생각되어지지만 실제로는 작업상 지장이 없는 압력상태를 말하는 경우가 많다. 우리가 일상생활을 하고 있는 지구표면의 압력은 질소(N2), 산소(O2), 기타 아르곤, 탄소가스, 수증기 등의 혼합가스체가 해면상에서 1기압(760Torr)인 상태이다. 이때에 공기의 밀도는 표준상태(0℃, 760Torr) 기준으로 1mole [22.4ℓ]중에 약 6 x 1023개의 공기분자로 구
성되어 있다.

[1] 대기압보다 낮은 상태
[2] 분자밀도 < 2.5 × 1019 /cm3
[3] 실제적 진공 영역의 구분

2. 저진공, 고진공이란?
저진공 (Low vacuum)
- Rough vacuum 이라고도 하며, 기체의 분자 수량이 진공용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태.
- Food processing, 증류, 박막증착(sputtering, LPCVD), 네온사인 등에 쓰인다.

참고 자료

[네이버 지식백과] 진공 펌프 [眞空-, vacuum pump, Vakuumpumpe]
안일신, ‘진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부, 1999
Harland G. Tompkins, 'Pumps Used in Vacuum Technology', American Vacuum Society(AVS), 1991
Donald M. Mattox, 'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing', Noyes Publication, 1998
[위키백과, 우리 모두의 백과사전]
엔하위키
진공과학입문 / 정석민교수,이진원교수,박종윤교수 著 / 청문각 출판부
진공의 기초 ‘진공의 기본원리 및 응용’ / 김홍배, 손상희 著 / 전자 재료사
Vacuum Technology and Applications '진공의 원리, 발생, 계측, 리크테스트,
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진공공학 / 배석희, 인상렬 외 3인 著 / 한국 경제 신문 출판부
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