진공 게이지_레포트

목차

1. Introduction
2. Thermocouple Gauge
3.Pirani Gauge
4. Ionization Gauge

본문내용

2. Thermocouple Gauge
Thermocouple Gauge는 정확성이 높지 않으나 간단하여 Rough vacuum범위에서 사용하는 간단한 계측기이며, 온도를 측정하여 압력을 변화시켜 읽는다. Thermocouple 게이지는 한 개의 게이지 튜브와 control unit로 구성되어 있는데 그 게이지 튜브 안에는 필라멘트가 있다. 필라멘트에 용접되어있는 부분은 뜨거운 wire의 온도를 측정하는 Thermocouple이며, 그것은 온도가 아닌 압력단위로 측정된다. 대기압에서는 가열된 필라멘트와 많은 분자들이 충돌하며 가스 분자는 양과 관계가 있다. 즉 많은 분자를 가진 높은 압력에서는 많은 열이 wire로부터 빠져나오며, 따라서 그 wire의 온도는 낮아질 것이다.

참고 자료

https://m.blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=loowi&logNo=221678878208&proxyReferer=https:%2F%2Fwww.google.com%2F
file:///C:/Users/kwctl/Downloads/%EC%A7%84%EA%B3%B5%EA%B2%8C%EC%9D%B4%EC%A7%80%EC%9D%98%20%EC%A2%85%EB%A5%98%20%EB%B0%8F%20%ED%8A%B9%EC%84%B1(Vacuum%20gauge).pdf