Auger electron spectroscopy

목차

1. 표면의 정의

2. 표면분석방법

3. 전자분광법

4. AES(Auger 전자분광법, auger electron spectroscopy)
1) AES란?
2) Auger 전자
3) 기기장치
4) AES 의 응용
5) AES의 강점 및 약점
6) AES spectrum

본문내용

1. 표면의 정의

고체 재료의 어느 부분을 표면이라고 정의할 수 있을까? 첫째로 고체재료의 가장 바깥부분에 존재하는 원자층인 최외각층으로 정의할 수 있다. 이들은 외부의 다른 기체, 액체, 그리고 고체상태의 원자들과 직접적으로 접촉하며 계면을 형성하고 있다. 따라서 이것은 재료의 절대적 표면일 것이다. 하지만 최외각 원자층의 구조나 화학적 활성도는 그 아래층에 위치한 원자들에 의해 상당히 크게 변화될 수 있다. 따라서 실질적인 표면은 최외각 원자층에서 그 아래 약 2~10원자층에 해당하는 깊이인 0.5~3nm이다. 더 광범위하게 표면을 정의하면 표면의 두께가 10~100nm까지도 간주된다(표면박막). 제작된 소자나 도구의 표면에 10~100nm의 박막을 도포하면 도구표면의 물리화학적 특성을 보호하거나 윤활작용을 보강 또는 변화시킬 수 있기 때문이다.

2. 표면분석방법

일반적으로 고체표면의 물리적 성질과 그 동작특성에 대한 보다 완전한 이해를 위해 요구되는 정보는 표면의 물리적 형상, 구성원자, 화학적 결합상태, 원자배열, 전자에너지 상태, 결합되어있는 원자 및 분자들에 대한 보다 상세한 물리화학적 배열구조이다. 이러한 모든 정보를 한 가지 표면분석기술로 얻기는 불가능하며 요구되는 정보에 따른 적합한 표면분석기술들이 적용되어야 한다. 그림 1은 일반적인 고체표면에서 요구되는 중요정보와 관련표면분석기술을 연계하여 개략적으로 나타낸 것이다.

한편, 표면분석에 흔히 사용하는 분광학적 표면연구법은 수 Å부터 수십 Å의 두께에 해당하는 고체 표면층의 정성 및 정량적인 화학적 정보를 제공한다. 그림 2는 표면의 분광학적 시험을 수행하는 일반적인 방법을 보여준다. 고체 시료에광자, 전자,이온, 혹은 중성분자로 이루어진 일차살을 보낸다. 표면에 충돌한 일차 살은 고체 표면으로부터 광자, 전자, 분자 혹은 이온으로 이루어진 이차살을 방출시킨다.

참고 자료

이명복, 이정희, 진공 표면 분석기술의 입문, 두양사, 2003
박기채, 기기분석의 원리 제 5판, 자유아카데미, 2000
기기분석 교재연구회, 대학기기분석, 자유아카데미, 2001
고준석, 계면화학 이론과 실제, 전남대학교출판부, 2008
[네이버 지식백과] 전자 분광법 [electron spectroscopy, 電子分光法] (용어해설)
교수님 ppt(03.Adsorption and Desorption)
http://blog.naver.com/hjh4142?Redirect=Log&logNo=50139683838
http://blog.naver.com/fsx001?Redirect=Log&logNo=140018911397
http://en.wikipedia.org/wiki/Auger_electron_spectroscopy