오제전자 분광법에 대한 조사- AES 레포트
- 최초 등록일
- 2019.07.18
- 최종 저작일
- 2018.06
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목차
1. 오제전자 분광법
2. 전자 방출 깊이
3. AES활용의 장점
4. AES활용의 제한점
5. AES의 활용
6. 참조문헌
본문내용
Auger electron spectroscopy
오제전자 분광법
AES- 오제전자 분광법
시료의 표면에 전자 또는 X선을 조사하여 방출하는 물질에 특유한 에너지를 가진 오제 전자를 분광하여 고체표면의 원소 분석이나 상태 분석을 하는 방법.
AES를 이용한 시료의 정량 분석 방법
시료의 Z축 값을 조절한 후 측정된 탄성 피크(elastic peak)에서의 2차 전자의 인텐시티(intensity) 값과, 실제 측정된 2차 전자의 인텐시티(intensity) 값의 비를 이용하여 얻은 규격화(normalization)된 인텐시티(intensity) 값의 비교를 통해서 시료를 정량적으로 분석하는 것을 특징으로 하는 AES 분석 방법.
In = C × Ir/Iz
참고 자료
Joong-Ki Hwang, ‘CRYSTALLINE EFFECTS OF LARGE GRAIN POLYCRYSTALINE SILVER IN AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY’, Department of Ferrous Technology(Microstructure Control) Vol.5 No.1 [1989]
정윤정, KR20060079481A KR Application, 동부일렉트로닉스 주식회사, 2014,12,31
Bridget R. Rogers ,’X-ray Photoelectron and Auger Electron Spectroscopies and Their Applications in Materials Research’ 한국진공학회 학술발표회초록집, 85-85. 2017
허성, 박윤백, 김호정, 민경열, 이순영. (2000). Auger Electron Spectroscopy(AES)를 이용한 실리콘 산화막에 대한 전자빔 손상 관찰. 한국진공학회 학술발표회초록집, , 33-33. 2000,7
네이버 지식백과 ‘오제전자분광’ https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=786846&cid=42431&categoryId=42431
(2018.10.31)
https://en.wikipedia.org/wiki/Auger_electron_spectroscopy(2018.10.31)
