TEM
- 최초 등록일
- 2007.07.09
- 최종 저작일
- 2007.01
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소개글
A+ 받은 리폿입니다.
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목차
1.투과전자현미경(TEM)
2.TEM의 원리
3.TEM의 구조
4.TEM의 특징
5.TEM의 용도
본문내용
투과전자현미경의 작동원리는 광학현미경과 같으나 광학현미경의 광원이 빛인데 반하여 TEM의 광원은 가속전자빔으로 시편을 투과하고, 상의 배율조절을 위해 렌즈의 작용을 전장으로 조절하는 것이다. 즉, 관찰하고자 하는 재료의 파장보다 작은 가속 전자를 발생하여 매질에 투과시키면 결정면이나 결함 등의 정도에 따라 투과할 수 있는 전자빔의 강도차가 발생하게 된다. 이때의 투과된 빔강도 차이는 형광스크린에서 명암으로 나타난다.
광학현미경의 광원 대신에 광원과 유사한 성질을 지닌 전자선과 렌즈 대신에 전자 렌즈를 사용한 현미경으로서 결상(상맺힘)의 기본원리는 같다. 전자선은 광선과 비교하면 물질과의 상호작용이 현저하게 크기 때문에 시료는 아주 얇아야 하며 진공 중에 놓여진다. 전자선이 시료를 투과할 때에 생기는 산란흡수, 회절, 위상 3가지의 contrast (명암) 발생 원리를 이용한 장비이다.
일정한 파장을 지닌 전자선을 시료에 조사(쏘여줌) 하면 시료에서 산란되어진 전자선이 대물렌즈의 후 초점면에 회절 형상을 형성시킨다. 즉 시료에서 일정한 방향으로 산란되어진 전자선이 후 초점면에서 한 점으로 모이게 된다. 이 후 초점면에서 2차 파가 대물렌즈의 초점에 확대 상을 만든다. 이 상은 투영렌즈에서 형광판에 확대결상 되어진다. 중간렌즈의 초점거리를 바꾸게 되면 현미경형상과 회절형상을 마음대로 얻을 수 있게 된다.
참고 자료
없음