주사전자현미경

목차

1. 주사전자현미경의 개요
2. 주사전자현미경의 원리
3. 주사전자현미경의 용도
4. 주사전자현미경의 특징
5. 주사전자현미경의 구조
6. 주사전자현미경 영상의 형성 및 종류
7. 주사전자현미경의 배율결정
8. 주사전자현미경의 분해능
9. 주사전자현미경과 투과전자현미경의 비교
10. 주사전자현미경과 광학현미경의 비교
11. 시료제작법
12. EDS를 이용한 원소 분석
13. 주사전자현미경으로 본 다양한 사진

본문내용

1. 주사전자현미경의 개요
기술이 진보함에 따라 마이크론 크기나 그 이하 크기의 시료에 대한 관찰과 분석을 통한 정확한 이해가 필요하게 되었다. 주사전자현미경(SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 50Å정도의 해상력을 지닌 것이 상품화되어 있고, 최근에 판매되고 있는 고분리능 SEM은 10Å이하의 해상력을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료와 유가공제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다.
1942년에 Zworykin등에 의해 2차 전자에 의해 미세한 물질의 상의 명암을 얻을 수 있다는 발견을 기초로 하여 최초의 SEM을 설계하였다. SEM에서는 2차 전자 전류가 검출기를 통해 전압이 떨어지게 되고, 전압이 감소하는 것을 TV를 통해 상으로 나타나게 된다. 최근에는 대부분의 SEM에 X선 분석장치를 부착하여, 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 되었다. 특히 X선을 이용하여 작은 부피의 화학조성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있어서 이의 용도는 영상의 관찰이나 분석의 범위를 훨씬 능가하고 있다.

참고 자료

없음