재료공학기초실험_SEM 주사전자현미경관찰(1)_전자현미경 원리 및 시편준비

소개글

"재료공학기초실험_SEM 주사전자현미경관찰(1)_전자현미경 원리 및 시편준비"에 대한 내용입니다.

목차

1. 실험목적

2. 이론적 배경

3. 토의사항 및 문제
1) SEM의 구조 및 각 역할
2) SEM의 원리
3) Electron Gun에 대해 조사 (LaB6)
4) Relsolution을 정의하고 향상시키는 방법

본문내용

1. 실험목적
본 실험에서는 주사전자현미경(SEM)을 이용하여 재료의 미세구조를 관찰하는 방법을 학습한다.
세라믹재료의 파단면 형상, 기공의 존재, 분말의 입자 크기, 표면형상 및 평균 결정립 크기를 조사하기위한 시료의 준비방법을 실습하고, 주사전자현미경 관찰 및 사진 분석을 통하여 세라믹스의 미세구조에 대한 일반적인 이해를 얻는다.

2. 이론적 배경

• 현미경의 발전
1926 Hans Bush 전자선이 자계에 의해 휜다는 것을 발견
광학현미경 -> 투과전자현미경 -> 주사전자현미경

<중 략>

• 주사전자현미경(scanning Electron Microscope)
- 재료의 표면 형상분석 및 성분분석에 있어서 매우 일반적으로 사용됨.
- 배율 x100,000이하의 고배율 이미지를 얻을 수 있음. (FE-SEM는 현재 최고 x500,000의 배율로도 관찰가능)
- 전자선(Electron Beam)발생장치(빛에 해당), 렌즈군(접속렌즈, 대물렌즈 등), 형광 투영판 (인간의 망막에 해당)등으로 구성됨.
- 사용되는 렌즈는 자계렌즈 (자계렌즈: 코일을 이용하여 일정양의 자장을 띄게 하고 빛에 해당되는 전자선이 이 자장을 통과할 때 진행방향이 휘어지는 성질을 이용해 렌즈역할 함. 렌즈코일에 흐르는 전류변화로 렌즈 배율 조절 가능)
- 최고 수백만 배의 상을 얻을 수 있음 (렌즈의 분해능: 빛의 파장에 반비례)

참고 자료

'Transmission Electron Microscopy' - David B. Williams * C.Barry Carter (74page)
‘광학현미경의 원리 및 응용’ - 항공대 이창우 교수 PPT자료
한국 과학 창의 재단
스터디 블로그 http://blog.naver.com/chris2man/20152781052
영남대 재료공학기초실험 전자현미경 수업자료