Sputtering의 종류와 메카니즘

등록일 2003.09.11 한글 (hwp) | 12페이지 | 가격 1,000원

목차

1. 스퍼터링(sputtering)
․스퍼터링의 종류
* 이온 스퍼터링 :
1) 작업 원리 및 과정
2) 관련 설비
3) 피복층 조직
4. 이온 스퍼터링의 특징
5. 적용 범위 및 응용
․스퍼터링(SPUTTERING)의 기본지식
*) 진공 및 기압

2. 진공펌프

3. Sputtered 박막의 구조

본문내용

․개요 :
- 물리 기상증착법은 원하는 박막 물질의 기판이나 덩어리에 에너지를 가하여 운동에
너지를 가지는 해당물징이 물리적으로 분리되어 다른 기판에 쌓이게 함으로 박막층이 만들
어지게 하는 방법을 물리 기상증착법(PVD)이라고 한다.
크게 스퍼터링(sputtering) 과 증발법(evaporation) 으로 나눌수 있다.
- sputter 장치 :
진공 장치에 불활성 기체를 주입하고 방전을 일으켜 금속, 유전체
또는 반도체 박막을 제작하는 장치로
1. 금속 박막의 제작 : 자성체 또는 전도성 박막의 제작
2. 유전체 및 반도체 박막의 제작
3. 전극 제작 : 전자 소자의 전극 형성
4. 반사 방지막 형성 : 광 소자의 표면에 반사 방지막 형성
5. 전도성 투명 전극 제작 등에 이용할 수 있다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [sputter]sputter 종류와 mechanism 11페이지
    11 - □ Sputter 물리 기상증착법은 원하는 박막 물질의 기판이나 덩어리에 에너지를 가하여 운동에너지를 가지는 해당물징이 물리적으로 분리되어 다른 기판에 쌓이게 함으로 박막층이 만들어지게 하는 방법을 물리 기상증착법(PVD)이라고 한다. 크게 스퍼터링(sputt..
  • 스퍼터링 실험실 설계 54페이지
    Sputtering 기본이론 Sputtering 구성 Sputtering기기 선정 Sputtering의 기본이론 -역사 -이온스퍼터링 -이온스퍼터링의 종류 -Sputtering의 성막과정 -Sputtering의 장점 Sputtering 기본이론 역사 -19세기 말 Sp..
  • 스퍼터링(sputtering) 11페이지
    스퍼터링(sputtering) 1. 스퍼터링의 목적과 이론 반도체, LCD,유기EL등의 평판 디스플레이, CD,HD,MD등의 각종 기록매체, 박막 태양전지, 휴대폰등의 전자파 차폐, 정밀 optic lens, 장식 내마모 내식성 기능막, 자외선 방지 필름 coating..
  • sputtering(스퍼터링) 9페이지
    스퍼터링(Sputtering) 1) 스퍼터링(sputtering)의 정의 Figure 1. Computer simulation of a portion of collision sequence initiated by a single ion-bombardment event ..
  • sputtering (스퍼터링) 2페이지
    물리 증착 기술 (PVD) Physical Vapor Deposition의 약자로, 말 그대로 물리적인 방법으로 증기 입자를 만들어 기판에 증착을 시키는 방법이다. 다시 말해 큰 운동 에너지를 가진 이온 입자가 타겟(tager) 물질과 충돌함으로써 물질을 방출시키고, ..
  • [박막 공정] 박막공정(스퍼터링, CVD) 5페이지
    ▶ 스퍼터링의 정의 활성화된 가스이온으로 고체표면을 충격하여 에너지 이전에 의해 표면 원자를 물리적으로 축축하여 다른 고체표면에 도금하는 공정. ▶ sputtering의 발생 glow discharge에 의한 target 표면에서 초기 이온들의 운동량 전달에 의한 물질..
  • 스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트 11페이지
    결과 레포트 Thin Film 공정 : Sputtering 윤영훈 차례 1. 실험 목적 2. 실험 원리 1) 글로우 방전 2) 스퍼터링 3) RF 4) 기타 도구 및 용어 3. 실험 과정 4. 실험 결과 5. 실험 고찰 1. 실험 목적 RF - Magnetron Sp..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서
      Sputtering의 종류와 메카니즘