Co2Si 증착실험

등록일 2000.09.21 한글파일한글 (hwp) | 9페이지 | 가격 300원
다운로드
장바구니관심자료
상세신규 배너

목차

1. 실험목적
2. 이론
1. XRD(X-Ray Diffractometry)
(1)XRD의 개요
(2) XRD 분석의 종류
(3)활용분야
(4)장점과 단점
2. RBS(Rutherford Backscattering Spectrometry)
(1) RBS의 개요 및 원리
(2) RBS의 장점과 단점
(3) RBS의 응용분야
3. Silicide
(1) 실리사이드 형성
(2) 실리사이드 형성 kinetic 메카니즘
3. 실험 방법
4. 결과 및 고찰
- 실험결과

본문내용

Sputtering과 Vaccum Furnace로 인해 CoSi2가 형성되는지를 알아보고 형성된다면 그 두께는 어느 정도이고 저항은 어떻게 되는지 알아본다.

  • 구매평가(0)
  • 구매문의(0)
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.

      찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

      • 한글파일 박막의 증착 실험 11페이지
        1.진공이란? A. 토리첼리의 실험 1643년 이탈리아의 물리 ... 학자 토리첼리는 유리관과 수은을 사용하여 다음과같은 실험을 하였다. 즉,단면적1 ... 실험으로 대기압(1기압)은 높이 76cm의 수은주 무게와 같다는 사실이
      • 한글파일 반도체공정실험 예비보고서(silicidation) 3페이지
        반도체공정실험 3조 1. Discuss silicidation ... ) Annealing Time - 30초 (고정) 3.3. 실험 과정 1) Ni 증착 ... 반복한다. 4. 실험 예상결과 Ni-silicide의 저항은 Ni
      • 한글파일 Cu 진공증착실험 결과리포트 3페이지
        Cu 진공증착실험 결과리포트 1. 목적 진공증착을 이용하여 Si ... Plate에 Cu를 직접 증착시켜보고 그 원리에 대하여 이해한다. 2. 실험 ... , 증착시킨다. 5) Chamber의 압력을 상압으로 조절 후
      • 한글파일 진공 증착 물리 실험 19페이지
        평형 증기압(Torr), T는 온도이다. 진공증착실험에 있어서 고려해야 ... 증가시켜 원하는 증착율 균일한 막을 얻기 어렵게 한다. 증발원에서 증발한
      • 한글파일 cu를 이용한 박막 증착 실험보고서 19페이지
        재료공학 기초실험 과제 : 전자총을 이용한 cu 박막 증착 실험 ... evaporator기계를 이용해 cu를 넣어 증착하는 실험을 하여 두께측정을 ... 의 방법에 대해 알아봄으로 목적으로 한다. ▶ 실험 원리 증착의 종류 증착
      • 한글파일 박막증착실험 9페이지
        )토리첼리의 실험 -1643년 이탈리아의 물리학자 토리첼리는 유리 ... 관과 수은을 사용하여 다음과 같은 실험을 하였다. 즉, 단면적1cm인 한쪽 끝이 ... 작용하는 대기의 압력과 균형을 이루기 때문이다. 이 실험으로 대기압(1기압
      • 한글파일 [재료실험] 진공증착(evaporation) 5페이지
        시켜 기판의 전기전도도를 측정한다. 2. 실험 이론: 진공증착 박막방법의 ... coefficient)등에 의존하므로 진공증착 박막실험시 세심한 주의와 관찰을 ... 이번실험은 si wafer라는 기판을 사용하여 진공증착을 통하여 전기
      더보기

      이 자료와 함께 구매한 자료

      상세하단 배너
      우수 콘텐츠 서비스 품질인증 획득
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서yes24
      다음
      Co2Si 증착실험