주사전자현미경

목차

1] 원리
2] 선원
3] 렌즈
4] 정보의 검출 및 형상처리
5] 특징
6] 이용
7] *보충 TEM

본문내용

투과형과 같이 시료전체에 전자선를 쏘이는게 아니고 주사형에서는 아주 작은 전자선으로 시료를 주사(scan)하고, 전자선을 쏜 좌표의 정보에서 상을 구성하여 표시합니다. 관찰시료는 높은 진공상태(10-3승이상)에서 그 표면의 전계 및 자계에서 섞인 전자선(집점직격 1~100nm정도)으로 주사합니다. 주사는 직선적이지만 주사축을 순차적으로 틀어 가면서 시료표면전체의 정보를 얻습니다.

2] 선원
광학현미경의 광원에 해당하는 SEM의 전자선원(전자총)에는 몇 개의 방식이 있습니다. 이전에는 텅스텐 필라멘트의 열전자총을 탑재한 제품이 많았지만, 현재는 전자방사형(Field emission, FE)의 제품이 보급되고 있습니다. 이것은 음극(냉음극)에 고전압을 인가, 바로 밑의 제 1 음극에 의한 전자선을 가속, 계속 제 2 음극이하에서 전자선속을 제어하는 방법입니다. FE는 열전자총과 비교하여 해상도가 높고, 고효율의 관찰이 가능하고, 필라멘트(probe)의 수명이 길다는 장점이 있습니다. 한편, 저배율관찰에 있어서는 대전류가 얻어지는 열전자총의 재질이 FE를 상회하는 제품도 있습니다.

참고 자료

없음