진공 게이지 종류와 직접 측정 게이지

등록일 2002.01.14 MS 워드 (doc) | 14페이지 | 가격 3,000원

목차

진공 게이지(Vacuum gauge) 종류와 직접 측정 게이지(direct measurement gauge)

진공 게이지(vacuum gauge)란?
진공 게이지의 분류
직접 측정 게이지 (direct measuremt gauge)
간접 측정 게이지 (indirect measuremt gauge)
1. 기체의 열 특성을 이용한 게이지
2. 기체의 이온을 이용한 게이지
그 밖에 게이지

본문내용

진공 게이지(vacuum gauge)란?
진공의 정도를 측정하는 것이 진공 게이지이다. 진공의 정도를 나타내는 물리량이 무엇인가가 중요한데 대부분 압력을 사용하고 있다. 하지만 압력이 같더라도 기체의 종류나 온도에 따라 실제 공간을 차지하는 분자의 밀도는 다르다는 것을 인식하고 있어야 한다. 전자회로, 센서 등 여러가지 기술의 발달로 약 10-13 Torr 영역까지 측정할 수 있다. 진공의 정도는 일반적으로 진공 용기속에 남아 있는 기체의 압력으로 표현되는데 우선 압력을 직접 측정하는 경우와 기체가 가진 다른 물리적 특성을 이용하여 간접적으로 측정하는 방법이 있는데 민감도가 후자의 경우가 좋으므로 대부분의 진공게이지, 즉, 압력계는 기체가 가진 열 또는 전기적 특성을 이용하고 있다.

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