[반도체공정] 진공 게이지

목차

1.The measurement of low pressures
2.진공 gauge의 분류
3.Direct measurement gauge
4.Indirect reading gauges
5.참고문헌

본문내용

1. The measurement of low pressures
진공의 정도는 일반적으로 vacuum chamber내에 남아 있는 기체의 압력으로 표현되는데, 압력을 직접 측정하는 경우와, 기체가 지닌 다른 물리적 특성(열, 전기적 성질 등)을 이용하여 간접적으로 측정하는 방법이 있다. 대부분의 진공 gauge는 기체가 가진 열 또는 전기적 특성을 이용하고 있다. 이들 물리량은 나중에 보정과정(calibration)을 통하여 압력으로 변환된다. 하지만 이러한 물리적 특성이 기체마다 다르므로 대부분의 경우 질소에 대한 압력으로 눈금이 보정되어 있다. 따라서 종류가 다른 기체를 사용하거나 혼합된 기체를 사용할 때는 따로 보정값을 찾아 그 기체의 압력으로 변환하든지 하여야 올바른 기압을 측정할 수 있다.

2. 진공 gauge의 분류
진공 gauge는 그 기능별로 여러 가지로 분류가 가능하다. 여러 가지로 개선된 gauge가 개발되고 있지만 대기압에서 초고진공까지를 측정할 수 있는 진공 gauge는 아직 없다. 따라서 진공 펌프의 경우처럼 진공 영역에 따라 2~3개의 gauge를 병용해 사용해야 한다.

참고 자료

가. Handbook of Vacuum Science and Technology - Hoffman, Singh, Thomas (Academic Press, 1998)
나. 진공과학입문 - 정석민, 이진원, 박종윤 (청문각, 2001)