[박막공학]진공게이지

소개글

박막공학 및 반도체공정등을 공부하는 학생들을 위한 프리젠테이션 리포트 입니다.
진공게이지에 대해서 종류별로 정리하고 상세 설명해 놓았습니다.

목차

1.진공이란
2.진공게이지
3.부르동 게이지,이온게이지..
4.참고문헌

본문내용

*이온게이지
이온 게이지는 필라멘트, 그리드 그리고 집전기로 이루어져 있다. Chamber안의 필라멘트에 전류를 가하여 뜨겁게 하면 열전자를 방출하게 되고 이 전자들은 그리드에 의해 끌리게 된다. 이 과정에서 기체분자들을 이온화시키고 이 이온화된 전자들은 집전기에 모여 이온전류를 만들게 된다. Chamber 안의 기체가 많다면 즉, 압력이 높을 수록 이온전류가 커지고 이때 control unit은 이 이온전류를 압력의 단위로 변환시켜 표시한다.
이온 게이지 제어장치는 필라멘트 전류공급 장치, 이온전류를 증폭하는 장치, 그리고 display 장치로 이루어져 있다 이온게이지는 높은 압력에서 작동시키면 필라멘트가 급격히 산화하여 끊어질 염려가 있기 때문에 이런 것에 대비하여 어느 정도 이상의 압력에서는 필라멘트 전류를 자단하는 장치가 있는 것이 보통이다.

참고 자료

없음