Graphene has shown exceptional properties for high performance devices due to its high carrier mobility. Of particular interest is the potential use ..
NanoImprintLithography (NIL) 종류 Thermal-NIL UV-NIL Pre. Stamp 제작 Imprint Stamp demolding Pattern transfer to under-layer Metal deposition Lift-off Sub..
실험 결과 보고서 실험 제목 : CAD마스크 포토리소 그래피 실험 날짜 : 2015. 11. 27 실험 장소 : 부산대학교 실 험 자 : 실험조원 : Ⅰ 실험 방법 (1) Mask Cleaning : 아세톤, 에탄올, DI Water 순으로 마스크를 세척 해준다. (2..
Nano Imprint Lithography (NIL) 대학교 공학과 학번 날짜) lithos (돌) graphy (그림) 미세한 패턴을 만드는 기술, 반도체 공정 기술을 통칭하는 이름으로 쓰임 ○ 웨이퍼 위 감광제 도포후, 노광에 의해 마스크를 이용하여 원하는 패턴..
碩 士 學 位 論 文 나노임프린트 리소그래피의 신뢰성 향상을 위한 임프린트시스템 최적화 방안에 관한 연구 A Study on the Optimization of Imprint System ... for Nanoimprint Lithography 高麗大學校 大學院 電氣工學科 朴 亨 錫 2006年 6月 成 萬 永 敎授指導 碩 士 學 位 論 文 나노임프린트 리소그래피의 신뢰성 ... 문제들에 대해서도 주요한 연구결과들과 개선방안에 대해서 기술하였고 마지막으로 NIL에서 결함을 발생시키는 중요한 원인이 되는 폴리머의 특성에 대해서도 살펴보았다. 2.1 열 나노임프린트
1. Soft Nano imprint Lithography 기술의 장단점Soft Nano imprint Lithography는 딱딱한 재질이 아닌 연성의 재질인 PDMS 몰드를 스탬프로 사용하여 원하는 조성의 화학물질을 기판상에 전이시킴으로써 원하는 형상의 패턴을 형성..
Soft Nano imprint Lithography 기술의 장단점 -나노임프린트 리소그래피는 누르고자 하는 고분자 층에 빛을 조사하여 화학구조를 변형시키는 노광공정과는 달리 열적으로 ... 액을 섞는 과정중, 용액을 마스터 패턴위에 붓는중, 이동하는중 등시에 항시 실험실 공기에 노출되어 있으므로 기포가 생기게 되는데, 섞고 난후 그리고 마스터패턴위에 부은후 에 각각 진공펌프를
발생한 열은 tool과 workpiece의 온도를 증가시킨다. 1) 고온에서 공구의 경도, 강도, 내마멸성이 감소하여, 소성변형이 일어나고 공구 형상이 달라진 다. ... 다이아몬드는 낮은 마찰, 높은 내마멸성, 좋은 표면정도, 치수정확도를 가진 뛰어난 공구 소재이지만, 화학적 친화성의 문제로, 일반 탄소강, 티타늄 니켈, 코발트계 합금의 가공에서는
Thermal 나노임프린트란? 나노임프린트 기술은 폴리머 레진을 성형하는 방법에 따라서 UV 나노임프린트와 thermal나노임프린트로 나뉜다. ... 나노임프린트의 종류에 따라서 thermal 나노임프린트의 경우 고온 및 고압 조건 하에서 공정이 이루어지기 때문에 열 전도도가 좋고 경도가 높은 재질의 스탬프가 주로 사용된다. ... 나노임프린트 리지스트 열 임프린트 공정은 초기에 poly를 이용하여 실험을 수행하였다. 보통 임프린트 온도는 폴리머의 유리전이 온도보다 90도 이상에서 수행한다.
나노임프린트 리소그래피를 이용한 나노 패턴 사파이어 기판 제작과 이를 이용한 청색 LED의 효율 향상 연구. 한국표면공학회. ... 이 연구에서는 사파이어 기판 상에 일정한 형태와 주기를 갖는 나노 패턴을 형성하기 위하여 나노임프린트 리소그래피 기술을 이용하였다. ... 그 후 복제된 PFPE(perfluoropolyether) 필름 몰드를 사용하여 가압 3bar, UV 180sec 조사 및 나노임프린트를 진행하여, depth~150nm, 300nm
force lithography) 모세관-미세몰딩(micromolding in capillaries,MIMIC), 미세전사몰딩(microtransfer molding, μTM), 나노임프린팅 ... 종횡비(폭과 높이의 비율)가 큰 구조물을 성형할 때, 혹은 고압이 가해지거나 넓은 면적을 성형할 때, 금형이 변형되어 원하는 구조물을 얻을 수 없다 고분자 금형을 이용한 소프트 나노임프린트 ... Science and Technology Vol. 23, No. 6 1.1 Soft lithography란 화학, 생물학, 촉매, 유기전자와 에너지저장 및 변환 등의 응용분야에 마이크로 및 나노패터닝의
2.2.1 박막증착 공정 - 원자층증착법 - 플라즈마 강화 원자층증착법 2.2.2 식각 공정 - 조성물 구성비에 따른 식각문제 해결 2.2.3 포토리소그래피 공정 - 포토리소그래피와 나노임프린트 ... 이에 따라 포토리소그래피기술 또는 나노임프린트 리소그래피 기술에 비해 비용 측면이나 공정시간(TurnAround Time) 측면에서 유리하다. 2.2.4 이온주입 공정 1) 플라즈마 ... 도면 효과 포토리소그래피기술과 나노임프린트리소그래피 기술을 조합하여 리소그래피 공정을 진행하므로써 잔류층이 없는 미세 선폭의 포토레지스트패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.
이 외에 나노종합기술원은 나노임프린트 복제 몰드 기술과 은나노 제조기술을 접목 시켜 다이렉트 패터닝이 가능한 은나노와이어 투명전극을 연구 중이다. ... 나노종합 기술원 측은 1년 내 상용화 가능한 수준으로 기술 개발이 이뤄질 것으로 보고 있다. ... 애플도 웨어러블 기기인 아이와치에 은나노와이어 TSP를 채택하면서 최근 관련 기술 발전이 속도 를 내는 추세다. II.
전도성 고분자를 이용하여 소자를 제작하는데 있어서 대표적인 방법은 포토리소그라피(photolithography), 나노임프린트(nanoimprinting), dip-pen 나노리소그라피 ... 이런 특성을 바탕으로 그라핀에 나피온을 기능화 물질로 사용하여 그라핀/나피온(graphene/Nafion) hybrid 필름을 제작하였고 하이브리드 필름만으로도 기판 없이도 플렉시블한 ... 후자의 경우, 오감에 대응하는 상기 센서들의 측정 범위, 내구성, 민감도(sensitivity) 등 센서의 기능을 향상시키거나 (예.
를 사용하고 설계한 구조물을 제작 구조물의 형상과 인자들이 초발수에 미치는 영향을 연구가능 - 마이크로스케일의 구조 → 포토리소그래피 - 나노스케일의 구조 → 전자빔리소그래피 , 나노임프린트리소그래피 ... Top-down) 큰 규모를 생성된 패턴에서 시작해 나노스케일의 구조물이 되기까지 그 크기를 줄여나가는 방식 가공공정을 통하여 원하는 모양으로 구조를 만드는 제작방법 t template 나
