13E-Beam_Evaporation

*홍*

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공학 레포트

본문내용

전자총(E-Beam)을 이용해 타켓을 가열하는 진공증착법
Evaporation
E-Beam
Evaporation
Thermal
Evaporation
Plasma Assisted
Evaporation

E ? Beam evaporator
E-beam evaporator는 각종
금속(Au, Al, Ti, Cr, 등)과
유전체(SiO2)의 박막을 기판
위에 증착할 수 있는 장비로써,
반도체 공정에 필요한 전극
제작에 주로 사용되며,
이외에도 다양한 용도에
응용될 수 있다.

Evaporation이란?

참고 자료

없음

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