SEM 이론, 구성, 원리 및 현상

소개글

SEM 이론과 원리, 구성요소, 그리고 SEM 관찰 시 일어나는 현상 등, SEM에 대해 자세히 조사한 자료입니다.
(A+ 레포트)

목차

1. Gun + filament

2. SEM Lens

3. SEM Detector

4. 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상 (X-ray, Anger E etc)

5. Reference

본문내용

3. SEM Detector
►○ SEM Detector

-그림-

→ 이차전자
(SE, Secondary electron)
시료 표면의 모양에 관한 정보, 표면 이미지 확대, 관찰
→ 후방산란전자
(BE, Backscattered electron)
시료 내부의 구성원소에 관한 정보, 표면의 조성(composition) 확인

-그림-

►Faraday Cage, Scintillator Disc(섬광체) Light Guide Pipe(광 유도관), Photomultiplier Tube(광전자 증배관, PMT)로 구성되어 있다.
(1)Faraday Cage
►-50 에서 +300V 까지 bias를 걸어주어 시편에서 나온 이차전자(secondary electron, -50 V 이하) 를 scintillator로 끌어당긴다.
대부분의 빈 공간으로 전자가 통과하는 철망그물 구조(wire mesh)로 되어 있다.
후방산란전자(backscattered electron, 가속전압에 가까운 고 에너지, 20~30kV)는 faraday cage의 영향을 받지 않으며 단지 detector로 생성되는 후방산란전자만 검출 되어 이미지로 재현된다.

(2) Scintillator
►방사선을 받아서 발광하는 섬광체로서 전자와 정공을 쉽게 생성하고 light photon을 발생하는 무기 섬광체(주로 Y2SiO5에 Ce를 doping한 P47, P47P)가 많 이 사용된다.

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참고 자료

► http://mse.hanyang.ac.kr/SNE/
- 한양공대 신소재공학부 반도체 나노소재/소자 연구실(박원일 교수님)
- 나노소재기기분석 강의자료
► http://mse.hanyang.ac.kr/pml/
- 한양공대 신소재공학부 분말재료 연구실(김영도 교수님)
- 재료의 물리적 해석 강의자료
► http://super.gsnu.ac.kr/
- 경상대학교 공과대학 무기재료공학 인터넷 자료실
► http://gongdong.andong.ac.kr/
- 국립안동대학교 공동실험실습관 자료실
► ‘주사전자현미경의 기초‘ - 일본전자현미경학회, 황인옥 번역