● 원리 터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 fig1과 같이 플레이드에 부딧힌 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다. but, 실제 상황에서는 진공용기의 압력에 따라 다르다. ① 진공용..
Extrinsic Gettering 방법 ● Intrinsic gettering : Si wafer에 산소를 과포화시켜 웨이퍼를 가열하여 SiOx cluster로 형성하므로 응력을 ... 이로 인해 형성된 dislocation defect가 원하지 않는 불순물을 포획시키는 방법이다. ● Extrinsic gettering : 중금속 고용도가 큰 gettering층을 ... 이 방식은 도가니에서 용융시키지 않으므로 도가니로부터 유입되는 O,C등의 오염도를 줄일 수 있어 고순도, 고저항의 실리콘 기판을 얻을 수 있다. b) Intrinsic Gettering과
게터(getter)-활성화된 금속 표면에 기체분자가 도달하면 쉽게 결합하며, 이때 증기압이 낮은 화합물로 변환하여 배기하는 물질 ? ... 게터링(gettering)-게터를 이용하여 기체를 제거하는 과정 1)배기원리 ①진공용기 중에 운동하는 기체가 화학적으로 활성인 금속표면과 충돌 ②안정된 화합물을 형성해 표면에 흡착됨 ... 배기 속도 ③청결한 펌프 ④기계적으로 안정 ⑤사용중 외부로부터 전기나 냉매의 공급 불필요 ⑥저렴한 가격 -단점 ①불활성 기체인 Ar이나 He에 대한 흡착능력이 매우 낮다 3)게터(getter