이 과정을 gettering한다고 한다. 진공게이지의 관측을 바탕으로 압력강하가 둔해지면 다시 새로운 막을 증착시킨다. ... getter pump, NEG pump) -배기원리는 TSP와 유사한데 단지, 화학 반응을 위한 표면을 계속 증착시키는 것 대신, 반복적으로 재생하여 사용할 수 있는 표면을 사용한다는 ... 일종의 화학펌프인데 몰리브덴(molybdenum), 질코니움(zirconium), 탄탈륨(tantalum) 등도 gettering 효과가 크다. (3)-2.비증발 게터 펌프(non-evaporable
이때 약하게 충돌한 이온은 cathode에 묻히게 되면서 제거되고, 강하게 충돌한 이온은 티타늄 cathode를 sputter하여 새로운 티타늄 표면을 형성하여 gettering으로 ... Getter pump 티타늄(Ti)과 같이 화합물 형성이 쉬운 물질을 필라멘트나 덩어리 형태로 가열하여 진공 펌프 벽에 증착하면, 펌프내로 들어온 가스와 hydride, oxide,
게터 (Getter) : 진공장치 안에 남아있는 기체를 흡수하거나 그 기체와 화합물을 만드는 물질을 가리킨다 . ... 우측 그림은 진공도를 높이기 위해 사용하는 게터 (Getter) 의 모습이다 . 이온빔을 Emission 하기전에 좀더 high 진공을 만들기 위해 게터를 사용한다 .
An Important Person in My Life "Dear, had a meal?" My father asks me about that all the time, and I say, "Yes, how about you?" whether I had or had n..
이 과정을 gettering한다고 한다. ... 이것은 일종의 화학펌프인데 몰리브덴(molybdenum), 질코니움(zirconium), 탄탈륨(tantalum) 등도 gettering 효과가 크다. 1. ... Getter 펌프에는 위와같이 증착 막을 이용하는 경우와 재생이 가능한 zirconium-vanadium 또는 iron의 합금을 bulk 상태로 이용하는 경우가 있다.
High vacuum Getter ion pump 게터 펌프는 불활성기체에 대해서는 배기능력이 없기 때문에, 불활성기체에도 배기능력을 갖게 하기 위해서는 불활성기체를 이온화할 필요가 ... Ultra high vacuum Non-evaporable getter pump 배기원리는 TSP와 유사한데 단지, 화학 반응을 위한 표면을 계속 증착시키는 것 대신, 반복적으로 재생하여
