고진공 유지를 위한 getter 물질 개발 탄소 나노튜브 (Carbon Nanotube) ▷ 정의: 그라파이트 판상 구조가 임의의 축으로 말려 있는 튜브 구조 ▷ 형태: Multi-walled ... CNTs양 증가 고진공 유지를 위한 getter 물질 개발 ▶ Ni-Zr: H2O ▶ Ni-Zr: H2 ▶ 노출 유뮤에 따른 산소 흡수특성 비교 ▶ 열처리와 대기노출에 의한 흡수특성 ... ITO] Getter 탄소 나노튜브 합성 ■ 플라즈마 회전 전극법 (PREP) Spindle anode He gas pumping line Pressure gauge Electrical
게터 (Getter) :진공장치 안에 남아있는 기체를 흡수하거나 그 기체와 화합물을 만드는 물질을 가리킨다. ... 우측 그림은 진공도를 높이기 위해 사용하는 게터(Getter)의 모습이다. 이온빔을 Emission 하기전에 좀더 high 진공을 만들기 위해 게터를 사용한다.
ATTENTION GETTER - Quote about His saying. II. ... him ENTERTAINMENT INFORMATION SPEECH PARK SANG SUN 223232323 TITLE : My hero : Che guevara ATTENTION GETTER
이때 약하게 충돌한 이온은 cathode에 묻히게 되면서 제거되고, 강하게 충돌한 이온은 티타늄 cathode를 sputter하여 새로운 티타늄 표면을 형성하여 gettering으로 ... Getter pump 티타늄(Ti)과 같이 화합물 형성이 쉬운 물질을 필라멘트나 덩어리 형태로 가열하여 진공 펌프 벽에 증착하면, 펌프내로 들어온 가스와 hydride, oxide,
pump Operating range : ~~10 -3 torr N 2 H 2 O 2 Ti Non-Evaporable Getter Pump A pump reacts with to ... reach 5*10 -10 torr without using traps Ultra High Vacuum Pumps (10 -8 torr~) Titanium Sublimation Pump Getter
. - Sputter Ion Pump and Getter Pump System When the vacuum chamber is sealed with metal gaskets such ... DIFFUSION PUMP) 이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR) 흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP) 이 온 펌프 ( ION PUMP) 게터 펌프 (GETTER