집적회로 소자 공정 미세 분석법 결과보고서

목차

1. 개요

2. 결과보고서
1) XRD의 분석 원리 기술을 정리하여라.
2) XRD를 통해 분석 가능한 기술에 대해 정리하여라.
3) 철(Fe)의 (220)면에 대한 면간 거리와 회절각도를 구하여라.
4) 추가적인 물성 측정 장치인 SEM, AFM, TEM, Raman, PL, AES, XPS의 분석 원리/응용범위를 정리하여 기술하여라(택1).

본문내용

집적회로의 공정 및 재료분석법에 있어서 대표적인 미세분석법(microstructure analysis)에 대한 원리를 이해하고자 한다. 대표적인 미세분석법인 XRD분석 및 SEM 분석법에 대한 원리에 대한 이해 및 이를 이용한 데이터 시트의 분석에 그 목적을 두고 있다. 본 실험을 통해 결정(crystalline) 측정을 통해 구성 물질을 파악하는데 그 목적이 있다. 또한 SEM 분석을 통해 소자 및 재료의 미세 구조 및 두께 등의 육안으로 파악할 수 있는 분석법을 익히며, 이를 통해 실제 직접회로 소자 공정 및 분석에 있어서의 마이크로/나노 스케일의 분석에 대한 이해 및 응용을 가능하게 하고자 한다.

참고 자료

없음