(특집) 포토공정 심화 정리19편. Scanning Probe Lithography

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최초 등록일: 2021.08.16
최종 저작일: 2021.05; 3페이지/ 한컴오피스; 가격 2,000원

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소개글

(특집) 포토공정 심화 정리19편. Scanning Probe Lithography 파일입니다.

총 19편으로 구성되어 있으며 해당 포토공정 공부를 통해 반도체 회사에 입사할 수 있었습니다.
반도체업계 취업준비를 하고 있다면 큰 도움이 되실거에요!

본문내용

① Scanning Tunneling Microscopy(주사 터널 현미경)

- 금속 Tip과 Sample의 금속 표면이 서로 접촉하지 않은 상태에서, 두 금속 사이에 전압 인가
→ Tunneling 효과에 의해 얇은 공기층을 흐르는 전류 발생
→ 이 전류를 이용하여 원자를 증착/제거 가능
- 전류 이용 : 기판이 전류가 통하는 전도체여야 합니다.

② Atomic Force Microscopy(AFM)

- Cantilever : MEMS로 제작된 작은 막대, 끝에 원자 몇 개 수준의 크기인 Tip이 있음.
- Tip을 시료 표면에 접근, 탐침 끝의 원자와 Sample 표면의 원자 사이의 간격에 따라 인력 / 척력 작용

참고 자료

없음

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