ALD 예비보고서

목차

1. 실험제목

2. 실험날짜

3. 이론 및 배경
1) 박막 증착법의 종류
2) ALD (Atomic Layer Deposition)의 원리
3) Reflectometer를 이용한 박막 측정 원리

본문내용

1. 실험제목 : ALD

2. 실험날짜 : 2020-05-15

3. 이론 및 배경
1) 박막 증착법의 종류
① PVD
PVD란 물리적인 반응을 통해 시료 기체를 증착하는 증착법이다. 물리적 기상 증착법이라고도 불리며 증착하고자 하는 박막과 같은 재료를 진공 중에서 증발 또는 sputtering 시켜 기판 위에 증착시키는 기술이다.
증착 기법으로는 열증착법, 전자빔증발법, sputtering법이 있다.
-열 증발법
열 증발법은 증착 시키고자 하는 물질을 보트에 올려두고 보트를 가열함으로써 증착물질을 증발시켜 기판에 증착하는 바익이다. 일반적으로 단원소 물질을 증착할 때 사용한다.

참고 자료

정석균, 디스플레이 공정과 박막두께측정, 공업화학 전망 제 8권 제4호(2005)