ITO Film 제조 및 특성 평가 결과보고서

소개글

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목차

1. 주제
2. 목적
3. 방법
4. ITO의 정의
5. 투명도전성필름
6. ITO 필름 제작과정
7. ITO 필름 제작의 변수
8. 4-Point probe
9. 투과도 측정방법
10. 결과
11. 조별토의
12. 개별고찰
13. 참고문헌

본문내용

실험 목적
- 실험을 통해 ITO film의 제조공정을 알아본다.
- 제조한 ITO의 투과도 및 저항을 측정해 본다.
- ITO 측정 장치의 특성에 대해 이해한다.

실험 방법
-ITO 제작 - Roll Sputter (Sputtering 방법)
-저항 측정 - 4-Point Probe
-투과도 측정 - UV-Vis Spectrometer

< ITO(Indium-Tin Oxide) >

1. ITO란,
ITO는 산화 인듐 (In2O3)과 산화주석(SnO2)이 섞여있는 물질로써 투명전극으로 전기전도도와 광학적으로 투명하기 때문에 많은분야에서 사용된다.ITO는 일반적으로 산화인듐 (In2O3)과 산화주석(SnO2)이 90% 대 10%의 비율로 이루어져 있으며, 표면처리에 의해서 일함수 변화가 가능하다. 얇은 레이어에서는 투명하고 색이 없다. 덩어리 상태에서는 노란회색을 띤다.

ITO는 In2O3에 SnO2를 고용시켜 제조한 재료로서 가시광선 영역에서는 투광 특성이, 적외선 영역에서는 반사 특성이 우수하며 비교적 낮은 전기저항을 갖는 상온에서 안정한 산화물이다. ITO는 In2O3의 결정구조에서 In 자리에 Sn이 치환고용된 형태이다.ITO막의 전지적 및 광학적특성은 증착시 기판온도, Sn첨가량 및 산소분압 등에 따라 크게 달라지며, 또한 증착후 열처리도 그 특성에 영향을 준다고 알려져 있다.

참고 자료

http://www.icm.re.kr/ 재료 연구 정보센터 재료DB>실험노트
http://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%9D%B8%EB%93%90_%EC%A3%BC%EC%84%9D_%EC%82%B0%ED%99%94%EB%AC%BC(ITO)
http://cafe.naver.com/hynsr.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=153(UV/Vis Spectrometer)
http://four-point-probes.com/index.html(4-Point Probe)
http://blog.daum.net/ds5weh/12375153
http://www.google.co.kr/search?complete=1&hl=ko&q=ito+&lr=&aq=f&aqi=g10&aql=&oq=&gs_rfai=
http://www.jsits.com/4pointprobe/4-point-probe-theory.htm(4-Point Probe)