진공증착 (Sputtering)_pre

소개글

포항공과대학교 ( 포항공대, 포스텍, POSTECH ) 화학공학과의 `물리화학 실험`에서 진공증착 (Sputtering) 실험입니다. 실험과목에서 프리, 결과보고서 모두 꼼꼼히 적었고,특히 프리에는 책에 없는 것을 추가적으로 이론에 많이 적었고,결과는 물리적, 화학적, 애플리케이션 측면 모두에서 고려하여 적었습니다.직접 보고서를 쓰다가 막히는 부분이 많을 것인데, 큰 도움이 될 거라고 생각합니다.

목차

Ⅰ Object
Ⅱ Theory
Ⅲ Procedure
Ⅳ Referenc

본문내용

진공증착 (Sputtering)


ⅠObject
진공시스템에 포함되어 있는 압력계의 펌프의 원리를 이해하고, 진공도에 따라 사용할 수 있는 압력계와 펌프의 종류를 알아본다. 또한 스퍼터링 증착방법의 원리를 알아본다.
그리고 증착된 박막의 구조가 압력, 전류에 따라 어떻게 변하는지 확인해본다.

Ⅱ Theory
1. 진공펌프
진공펌프(vacuum pump)는 대기압 이하의 압력에서 기체를 흡입하여 대기압에서 배출하는 데 사용되는 압축기를 의미한다.
진공 상태를 만들기 위해서는 많은 펌프가 사용되는데, 작동 범위가 펌프마다 다를뿐 아니라, 어떤 펌프도 단독으로 진공 상태를 향상시킬 수 없으므로 여러 가지 펌프를 결합하여 사용한다.
일반적으로 펌프는 대기압부터 10-19 torr이며 저진공, 고진공, 그리고 초고진공으로 나뉜다.

참고 자료

1) 화학공학고 물리화학실험 교재 p73~85
2) Physical Chemistry 8th - Atkins
3) 물리화학 강의노트(용기중 교수님)
4) http://en.wikipedia.org/wiki/