나노공정

소개글

나노공정에 관해 조사한 보고서입니다

목차

Ⅰ. 나노 공정이란?
Ⅱ. 나노공정의 분야
Ⅲ 나노공정 기술은 왜 필요한가? - 그 필요성과 기본원리
Ⅳ.대표적 나노 대량생산 기술
Ⅴ.나노 공정 연구의 중요성
Ⅵ.결론 (화학공학과 나노공정의 연관성)
Ⅶ.참고문헌

본문내용

저희 조는 나노 공정이라는 큰 주제 속에서도 다양하게 나뉘어져 있는 분야를 좀 더 잘 정리 할 수 있도록 각자 조원들이 분담을 하여 조사한 뒤 취합하였습니다.


Ⅰ. 나노 공정이란? - 나노공정의 정의 및 분야
나노공정(Nano process)의 단순, 사전적 의미는 반도체의 회로 폭을 100nm
이하로 생산하는 반도체 공정을 말한다.
예를 들어 30나노공정이라 하면, 반도체 소자에 들어가는 회로의 선폭이 사람의
머리카락 굵기의 4000분의 1 수준인 30nm 급임을 의미한다.
이것은 40나노(머리카락 3000분의 1)에 비해 더 미세한 수준으로, 나노공정이 미 세해질수록 칩의 크기를 줄일 수 있어
원가 경쟁력이 높아진다는 장점이
있다.
나노 공정을 넓은 의미로 해석하면
나노 부품 및 소자를 구성하는
나노스케일(100nm 이하) 패턴을 효과적 으로 제작할 수 있는 기술, 이를 위한 장비기술과 기반 요소기술 개발을 수행 하는 분야를 모두 포괄적으로 포함한다.
좁은 의미의 정의는 나노스케일 크기의 형상을 구현할 수 있는 기술로 정의되며
기술적 배경과 방법론적인 측면에서 물리적, 화학적, 기계적, 광학적, 생체적
방법의 공정의 기술로 구분된다.

참고 자료

∙ 나노공정 장비기술 사업단 - CNFE
∙ 월간 전자부품 잡지 - 2009년 8월호
∙ http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=ipick&logNo=40015923864&redirect= Dlog&widgetTypeCall=true
∙ 이재종 한국기계연구원 박사 사설
∙ http://www.cheric.org/ - 화학공학 연구정보 센터
∙ 부산대학교 나노과학기술대학
∙ 순천향대학교 나노화학공학과
∙ [특집]나노메카트로닉스 - 나노공정해석 (이영민/임세영)
∙ 한국물리학회 KPS