정전분무증착, SOFC증착

소개글

1. Electrostatic Spray Deposition에 대해 이론 및 원리를 조사
2. SOFC, 고체산화물 연료전지에 사용되는 다른 증착방법과 간단히 장단점 정도 비교

1. Electrostatic Spray Deposition에 대해 이론 및 원리를 조사

Electrostatic Spray Deposition는 정전 분무 증착법이라고 번역된다. 이 증착법의 목적은 응용할 수 있는 분야가 굉장히 많은 수 ㎛ 이하를 가진 두께의 박막을 증착하기 위함이다.
이 증착법의 원리는 전기수력학적 미립화기법을 이용하여 미세한 액적들을 생성한 후, 생성된 액적들을 고온의 기판에 코팅하여 박막을 제조하는 방법이다. 여기서 전기수력학적이란 액체 속에 넣은 2개의 전극 사이를 방전시킴으로써 일어나는 충격파의 압력을 이용해서 재료의 성형을 하는 가공법으로써 이를 이용하여 증착시키고자 하는 물질을 미립화시켜 액적이라는 작은 방울같은 모양을 만들게 되고 이러한 방울들이 데워진 기판에 흩뿌리듯이 뿌려지는 원리를 사용하므로써, 간단한 장치와 빠른 증착 속도 그리고 원료물질의 선택이 다양하고 넓은 도포 면적은 박막을 증착시키는 다른 방법에 대해 정전 분무 증착법이 부각되는 이유이다.

목차

1. Electrostatic Spray Deposition에 대해 이론 및 원리를 조사
2. SOFC, 고체산화물 연료전지에 사용되는 다른 증착방법과 간단히 장단점 정도 비교
3. 인용자료 (References)

본문내용

Electrostatic Spray Deposition는 정전 분무 증착법이라고 번역된다. 이 증착법의 목적은 응용할 수 있는 분야가 굉장히 많은 수 ㎛ 이하를 가진 두께의 박막을 증착하기 위함이다.
이 증착법의 원리는 전기수력학적 미립화기법을 이용하여 미세한 액적들을 생성한 후, 생성된 액적들을 고온의 기판에 코팅하여 박막을 제조하는 방법이다. 여기서 전기수력학적이란 액체 속에 넣은 2개의 전극 사이를 방전시킴으로써 일어나는 충격파의 압력을 이용해서 재료의 성형을 하는 가공법으로써 이를 이용하여 증착시키고자 하는 물질을 미립화시켜 액적이라는 작은 방울같은 모양을 만들게 되고 이러한 방울들이 데워진 기판에 흩뿌리듯이 뿌려지는 원리를 사용하므로써, 간단한 장치와 빠른 증착 속도 그리고 원료물질의 선택이 다양하고 넓은 도포 면적은 박막을 증착시키는 다른 방법에 대해 정전 분무 증착법이 부각되는 이유이다.

참고 자료

1) 인터넷 자료
http://cafe.naver.com/newhearts/47487
- 전기 수력학적 방법의 정의

http://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_physical_vapor_deposition
- 전자빔 물리 증착법의 정의

2) 논문자료
정전기 분무 증착법에 대한 최근 연구 동향 고찰
(류성욱, 이상용 著)

박막 공정을 이용한 단실형 고체산화물 연료전지의 제작
(오건석 著, 연세대학교 대학원)

전자빔 물리증착을 이용한 고체 산화물 연료전지의 제조: 단전지 성능
(김형철, 박종구, 정화영, 손지원, 김주선, 이해원, 이종호 著, 한국과학기술연구원 나노재료연구센터)