[재료공학] SEM (Scanning Electron Microscopy) 주사전자현미경

등록일 2002.04.10 한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 1,000원
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SEM의구성요소
SEM의역사

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SEM은 집광렌즈(condenser)와 대물렌즈(objective)를 가지고 있으나, 광학현미경이나 투과전자현미경(TEM)처럼 빛의 법칙에 따라서 화면을 형성하지 않고, 전자기렌즈가 전기가 통하는 시편의 표면에 초점을 형성한 전자비임 spot을 형성하고 이 spot이 관찰하고자 하는 시편부위를 scanning하여 영상을 형성한다. 이 과정중에 여러가지 형태의 radiation이 발생하지만 SEM에서는 시편의 가장 표면에 가까운 영역에서 발생하는 2차전자(SE: Secondary Electron)를 이용한 것으로 적당한 신호처리 과정을 통하여 CRT에 영상을 나타나게 한다.
CRT에 나타난 영상의 한점의 밝기(brightness)는 전자비임과 시편의 상호작용에 의해서 시편의 그 부위에서 발생되는 2차전자의 갯수에 비례한다. 전자비임의 시편의 한점 한점에서 2차전자의 signal을 수집하여 CRT에 보내는데 scanning하는 속도가 빠른 반면 CRT의 phosphor는 비교적 장시간동안 밝기를 유지하기 때문에 CRT에서는 연속적인 tone image를 형성한다.

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