[재료공학] SEM (Scanning Electron Microscopy) 주사전자현미경

목차

SEM의구성요소
SEM의역사

본문내용

SEM은 집광렌즈(condenser)와 대물렌즈(objective)를 가지고 있으나, 광학현미경이나 투과전자현미경(TEM)처럼 빛의 법칙에 따라서 화면을 형성하지 않고, 전자기렌즈가 전기가 통하는 시편의 표면에 초점을 형성한 전자비임 spot을 형성하고 이 spot이 관찰하고자 하는 시편부위를 scanning하여 영상을 형성한다. 이 과정중에 여러가지 형태의 radiation이 발생하지만 SEM에서는 시편의 가장 표면에 가까운 영역에서 발생하는 2차전자(SE: Secondary Electron)를 이용한 것으로 적당한 신호처리 과정을 통하여 CRT에 영상을 나타나게 한다.
CRT에 나타난 영상의 한점의 밝기(brightness)는 전자비임과 시편의 상호작용에 의해서 시편의 그 부위에서 발생되는 2차전자의 갯수에 비례한다. 전자비임의 시편의 한점 한점에서 2차전자의 signal을 수집하여 CRT에 보내는데 scanning하는 속도가 빠른 반면 CRT의 phosphor는 비교적 장시간동안 밝기를 유지하기 때문에 CRT에서는 연속적인 tone image를 형성한다.

참고 자료

없음