"물리증착" 검색결과 1-20 / 1,532건

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  전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al2O3 박막의 물리적·전기적 특성 비교

  한국재료학회 양대규, 김양수, 김종헌, 김형도, 김현석

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.04.05

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  (특집) 증착공정 심화 정리4편. 증착공정 中 화학적 반응 공정, 물리적 반응 공정

  증착공정 中 화학적 반응 공정 / 물리적 반응 공정> 네번째 시간은 '증착공정 중 화학적 반응 공정과 물리적 반응공정 '에 대해서 개략적으로 소개하겠습니다. ... 눈을 집어 던져서 붙이는 물리적 공정 방법을 PVD라고 부릅니다. 위에 표는 증착공정의 화학적 공정과 / 물리적 공정을 구분하여 정리한 표입니다. ... 모든 반응공정들이 그렇듯 증착공정(Deposition)의 경우도 화학적 반응과 물리적 반응으로 이루어져 있습니다.

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.11.02

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  [반도체공정]전자 빔 물리적 증착법(E-beam evaporator) 발표자료

  증발원이 아래에 위치하게 된다면 기판으로 균일하게 증착하기 어려우며 , 불규칙한 증착으로 step coverage 가 낮다 . 3. ... 균일하게 증착하기 위해 기판이 자전 , 공전시키며 기판을 기울여 증착이 이루어지도록 한다 . 2 E Beam Evaporator 특징 5 E Beam Evaporator 특징 E-beam ... 증발원은 등방적으로 이동하기 때문에 , 모든 방향으로 균일하게 증착이 이루어진다 . 2.

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.03.08

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  [물리학과][진공 및 박막실험]Furnace를 이용한 산화막 증착 결과보고서

  Furnance를 이용한 산화막 증착 1. ... 이중 Furnace를 이용해서 산화막을 증착해보았다. 4. ... 이중 Furnace를 이용해서 산화막을 증착한다. 2. 실험결과 3.

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23

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  [물리학과][진공 및 박막실험]진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착

  진공법(gas transfer)과 내부 물질을 펌프내의 특 정 위치에 잡아 가두는 진공법(gas entrapment) 으로 나눌 수 있다. 1) 토리첼리의 실험 1643년 이탈리아의 물리학자 ... 진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 1. ... 실험목적 (1) Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착해보자. (2) Sputter 장비의 증착 순서를 익히고, 각각의 부품 역할을 이해하자. (3) ITO 박막의 특성을 결정하는

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23

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  [물리학과][진공 및 박막실험]진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 결과 보고서

  결론 Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착을 할 수 있다. Sputter 장비의 증착 순서를 익히고, 각각의 부품 역할을 이해할 수 있었다. ... 진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 1. ... 실험 목적 (1) Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착해보자. (2) Sputter 장비의 증착 순서를 익히고, 각각의 부품 역할을 이해하자. (3) ITO 박막의 특성을 결정하는

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23

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  RF 마그네트론 스퍼터링에서 증착거리와 증착온도가 무기 액정 배향막의 물리적 성질에 미치는 영향에 대한 연구

  한국재료학회 박정훈, 손필국, 김기범, 박혁규

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Polyester 상에서 Sputter 증착되는 고 밀도 은경 박막의 물리적 특성에 미치는 공정조건 변화의 효과

  한국재료학회 리의재, 황태수

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과

  한국재료학회 임근빈, 이종무

  논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  전자빔을 이용한 물리기상증착법으로 제조된 열차폐용 4 mol% YSZ 코팅의 내열특성

  한국분말야금학회 박찬영, 양영환, 김성원, 이성민, 김형태, 임대순, 장병국, 오윤석

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  현대물리실험-Thermal Evaporation (열 진공증착) 결과레포트

  Thermal Evaporation (열 진공증착) 실험8_결과레포트 2017-2 현대물리학실험 1. ... 증착에는 화학적(CVD), 물리적(PVD) 증착방법이 있음을 예비레포트에 서술한 바가 있고, 증착은 반도체 제조공정에 이용된다고 한다. ... 증착을 하고자하는 mask를 위의 장치에 넣고 전류 및 전압을 조절해서 액체로 용융시킨 다음, 기화된 알루미늄이 mask에서 다시 고체화(응고)되어 증착이 되는 것이다.

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.05.30 | 수정일 2022.06.01

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  물리 증착법(PVD)에 대한 조사[정의 및 원리, 특성, 종류 등]

  그러나 원하는 화합물의 조성을 마음대로 조절할 수 없으며, 환경오염 등의 문제가 단점으로 대두되어 액체를 사용하지 않는 건식도금법이 개발되었다. - 건식법 중 대표적인 증착법으로 물리증착 ... PVD(Physical Vapor Deposition)의 정의 - 반도체용 기판 등의 재료에 기체상태의 metal이나 alloy를 물리적인 방법으로 증착 시키는 공정을 말한다. ... 박막제조를 위한 증착법 1.1.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.01.06

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  진공 증착 물리 실험

  적용하기 때문에 절대적인 것은 아니다.압력 P(Torr)분자밀도 n()분자입사율 Z(sec)평균 자유 행로λ(cm)단원자층 형성 시간τ(초)한편, 이런 다양한 진공 영역에서는 다양한 물리적 ... 이런 물리적 상황을 설명하기 위해 분자 밀도(molecular density) n, 평균 자유 행로(mean free path) λ, 단원자층 형성 시간(time constant forming ... 진공 게이지진공의 정도는 일반적으로 진공 용기속에 남아 있는 기체의 압력으로 표현되는데 우선 압력을 직접 측정하는 경우와 기체가 지닌 다른 물리적 특성(열, 전기적 성질 등)을 이용하여

  리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.10

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  물리기상증착법(PVD)

  표면개질기술로서의 PVD(Physical Vapor Deposition : 물리증착법)을 중심으로한 코팅기술은 드릴, 엔드밀 아니면 기어절삭 공구 등 절삭가공을 목적으로한 용도로 개발이 ... (1) 진공증착 개요 및 원리 (2) PVD 피막의 공업적응용 1. ... 절삭저항을 감소시킴. ② 냉각작용 : 공구, 피삭재 및 절삭된 잔해의 마찰이나 소성변형으로 생긴 열을 재빨리 제거함. ③ 절산된 잔해배출 : 절삭된 잔해를 절삭유재의 압력에 의해 물리적으로

  리포트 | 27페이지 | 3,000원 | 등록일 2009.09.03

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  PVD (Physical Vapor Deposition), 물리 증착법

  ◎Ion plating 이온플레이팅은 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. ... 이런 높은 에너지를 가진 입자와의 충돌 때문에 ion-plating법은 기존의 물리적인 증착공정에 비해 다음과 같은 장점을 가진다 ①Electron Beam Ion plating 진공중에서 ... 이온이 물질의 원자간 결합에너지보다 큰 운동에너지로 충돌할 경우 이 이온 충격에 의해 물질의 격자 간 원자가 다른 위치로 밀리게 되며, 원자의 표면 탈출이 발생하게 되는 현상을 물리학에서

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.05

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  기상증착법, 물리증착PVD와 화학증착CVD에 관하여

  하나는 물리증착PVD(Physical Vapor Depositin), 다른하나는 화학증착CVD(Chemical Vapor Deposition)이다. ... PVD법의 전형적인 예는 진공증착과 스팟터 증착이 있다.7물리적 기초, 박막 메카니즘-증발이나 기체 상태로 승화되어 물질이 이송되면서 증착된다. ... CVD는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경이 필요하다.2.물리증착PVD(Physical Vapor Deposition)1증착시키려는 물질이 기판에 증착될 때 기체상태가 고체상태로

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.25

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  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 예비보고서

  PVD는 목적하는 박막의 구성 원자를 포함하는 고체의 타겟을 물리적인 작용(증발, 승화, 스퍼터링) 원자, 분자, 크리스터 상태로 해서 기판 표면에 수송하여 박막을 형성하는 방법이다 ... 박막 형성 기술박막을 기판 위에 형성하는 기술은 크게 PVD(Physical Vapor Deposition : 물리적 기상성장)기술과 CVD(Chemical Vapor Deposition ... 스퍼터 증착마그네트론 스퍼터 증착ECR 스퍼터 증착이온빔 증착이온 플레이팅고주파 이온 플레이팅활성화 증착아크 이온 플레이팅이온화 크라스터빔 증착이온빔 증착CVD열 CVD상압 CVD감압

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 결과보고서

  이 때 사용된 RF 전원은 진동수는 13.56 MHz이다.본 실험에서는 특별히 어떤 물리량을 측정하는 실험에 아니라 스퍼터링 장비의 사용법과 원리를 이해하는 실험으로, 실험 과정에서 ... 실리콘 기판에 Cu 박막을 증착한다1. ... 실험제목: 때려내기에 의한 박막 증착실험목적: 박막 성장 방법 중의 하나인 '때려내기(sputtering)에 의한 박막 증착' 방법의 원리를 이해하고, sputtering 장비를 이용하여

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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  나노구조물을 합성하는 방법중 저항가열에 의한 물리적 기상증착을 적용한 방법

  PVD 기상증착 개략도그림 2. 물리적 기상증착에 대한 개략도7. 실험 결과 및 분석(1)그림 1. 다공성 알루미나 박막의 구조도그림 3. ... 실험 목적다공성 알루미나 박막을 주형으로 이용하여 나노구조물을 합성하는데 사용되는 CVD방법 대신 저항가열에 의한 물리적 기상증착을 적용 하여 다공성 알루미나 박막 주형의 세공직경과 ... 알루미늄이 증착된 다공성 알루미나의 표면7. 실험 결과 및 분석(3)그림 6. 다공성 알루미나 박막 에칭 후 알루미나 박막과 접해 있던 면7. 결 론그림 7.

  리포트 | 15페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.02.14 | 수정일 2014.08.11

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  무기 신소재 레포트

  물리적 특성 그래핀은 투명하며 빛의 2.3%만을 흡수해도 상온에서 은보다 열전도성이 높으며, 전자가 마치 질량이 없는 것처럼 움직여 기존 반도체보다 전기의 흐름이 빨라질 수 있어 실리콘 ... 테이프를 반복적으로 붙였다 떼기를 반복하면 유리판 위에는 한두 겹의 그래핀이 남게 된다. 2) 화학 증착법 화학 증착법은 고온에서 탄소 또는 합금을 잘 형성하거나, 탄소의 흡착성이 ... -기계적 박리법, 화학증착법, 에피텍셜 합성법, 화학적 박리법 1) 기계적 박리법 기계적 박리법은 다층으로 구성된 흑연 결정에서 기계적인 힘으로 한 층을 벗겨내어 그래핀을 만드는 방법이다

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2021.03.28

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