[재료공학]EBSD의 원리와 응용

소개글

최근에는 SEM을 이용한 강력한 결정 방위 분석 기술인 EBSD가 개발되어 SEM의 분석기능이 주목받고 있는데 이에 대한 이론적인 설명과 응용예에 대한 정보가 적어 조금이나마 보탬이 되고자 자료를 올립니다.

목차

1. 서론

2. 본론
(1)EBSD의 발달역사
(2)EBSD원리
①EBSD형성
②EBSD를 재료에 응요예

3. 결론

본문내용

재료연구에 있어 전자 현미경은 중요한 역할을 하고 있다. TEM의 경우 얇은 시편을 이용하므로 전자의 투과와 회절이 가능하여 회절 패턴을 얻을 수 있으며, 고분해능 모드를 이용하여 원자의 위치를 결정할 수도 있다. SEM(주사 전자 현미경)의 경우는 분석기능은 에너지 분산 분광 분석(EDS), 파장분석분광분석, 오제이전자를 이용한 원소 분석등에 국한되어 왔다. SEM은 분석용현미경이기보다는 주로 시편 표면에서 방출되는 2차전자를 이용한 미세구조의 영상 구현을 위한 장비로 알려져 왔다. 최근에는 SEM을 이용한 강력한 결정 방위 분석 기술인 EBSD가 개발되어 SEM의 분석기능이 주목받고 있다. EBSD는 후방 산란 전자의 회절 패턴을 분석하여 시편내 결정립의 방위를 분석하는 방법이다.

참고 자료

없음