PDMS 패턴 결과

소개글

나노화학실험
PDMS패턴을 만들어 ODT를 입혀 찍어보고 에칭하는 실험

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없음

본문내용

제목
Benchtop Nanoscale Patterning Using Soft Lithography
결과
프린트된 OHP필름에 경화제를 섞은 PDMS를 부어주고 70°C에 1시간정도 경화시킨다.
생성된 PDMS stamp에 ODT를 골고루 발라주고 금기판과 은거울기판에 stamp를 찍어준 후 약 5분정도 기다린다.
이 과정에서 stamp가 흔들리면 제대로 찍히지 않을 수가 있으니 주의한다.
찍힌 부분을 확인하기 위해 금기판과 은기판을 Etchant (20mM Fe(NO3)3, 30mM Thiourea(SC(NH2)2), DI)에 담궈서 Etching을 시킨다.
Etchant에 담갔던 기판을 꺼내서 확인해보면 음각과 양각의 차에 따라 etching된 부분이 다른 것을 확인할 수 있다.
또한 프린터의 해상도에 의해 토너가 인쇄될때 작은 구멍같은 것이 생기는데 이런 부분도 기판에 찍힌 것을 볼 수 있다.
좌측은 음각 stamp로 찍은 것이고 우측은 양각 stamp로 찍은 것이다.
음각은 글씨가 깎이고 양각은 배경이 깎이는 것을 볼 수 있다.
ODT를 원하는 부위에만 증착시키면 ODT가 커버역할을 하여 Etchant에 담궈 etching시킬때 ODT가 붙은 부분은 깎이지 않는 것을 관찰할 수 있다.

참고 자료

없음