[박막] 박막의 특성

목차

박막의 역학적 특성

박막의 전기적,자기적 특성

박막의 광학적 특성

박막의 특성에 따른 용도

본문내용

(1)박막에서의 응력

박막을 기판위에 증착하는 경우 거의 모든 물질에 대해 변형이 발생한다. 이것은 박막 내의 내부응력 때문이며, 변형에는 두 가지 종류가 있다. 즉, 박막의 어떤 부분이 다른 부분을 인장하고 있는 상태와 압축하고 있는 상태이다. 전자의 내부응력을 인장응력(tensile stress)이라 하고, 후자를 압축응력(compressive stress)이라고 한다.
막 내의 모든 변형은 막이 기판에 단단하게 결합되어 있고, 그 후 막 내에서 체적 변화가 일어나는 사실과 관련되어 있다. 가해진 힘과 시편의 형태에 대해 응력의 분포를 계산할 수 있다.
박막 내에서의 응력은 기본적으로 두 가지 요소로 구성되어 있다. 이 가운데 한가지는 온도가 변화하는 동안 막과 기판과의 열팽창계수의 차에 의해 발생하는 열적응력(thermal stress)이고, 다른 하나는 진성응력(intrinsic stress)으로 막 형성시 많은 인자에 의존한다.

참고 자료

없음